真空技術(shù)基礎(chǔ)iiippt課件-在線瀏覽
2025-06-29 12:42本頁(yè)面
【正文】 非常重要的問(wèn)題，只要涉及的是氣體與固體表面的相互作用。 被吸附的氣體分子叫做吸附質(zhì)，吸附氣體分子的固體叫吸附劑。 吸附現(xiàn)象在真空技術(shù)中要辨證地看待。 吸附劑與吸附質(zhì)中間作用力分類兩種：范德瓦爾斯力和化學(xué)鍵力。 被捕獲的分子以一定幾率穿越勢(shì)壘 （化學(xué)吸附活化能）落入更深的勢(shì)阱，放出較大的能量（化學(xué)吸附熱）。 12kTpqaE Equilibrium of Adsorption 吸附出于平衡狀態(tài)時(shí)，吸附量是溫度與環(huán)境氣體壓力的函數(shù)： 溫度一定時(shí)，吸附量?jī)H僅是壓力的函數(shù)，叫做吸附等溫線。 ( , )F p T? ?()Fp? ?根據(jù)熱力學(xué)理論，很多研究者對(duì)吸附現(xiàn)象進(jìn)行了研究，得到很多吸附等溫線的理論結(jié)果，其中真空技術(shù)中常用的有 6種。 朗繆爾等溫式： 此外還有弗利德利胥等溫式、捷姆金等溫式、BET等溫式、杜平寧等溫式和亨利定律等。 《 真空設(shè)計(jì)手冊(cè) 》 P80～ 84 Nonequilibrium of Adsorption 在吸附未達(dá)到平衡或者外界因素使得吸附質(zhì)脫附時(shí)，吸附現(xiàn)象進(jìn)入非平衡狀態(tài)。 Chemical Adsorption Speed 其中 γ 是吸附成功率、 Fc(θ )是沒(méi)有被化學(xué)吸附占據(jù)的吸附位碰撞的概率、 Ea是吸附活化能、Γ n是單位時(shí)間碰撞到單位面積襯底上的分子數(shù)目。通常結(jié)論是和各種因素相關(guān)的。 常見(jiàn)氣體的吸附常數(shù)和吸附熱有表可查。其解吸速率稱為二階解吸速率。 2212 e x p ( )dEd Vd t R T? ?? ? ?2 1 2, , , , , dE V R T??Gas Discharge under Low Temperature Ionization of Gas 假設(shè)分子具有球?qū)ΨQ勢(shì)能，當(dāng)運(yùn)動(dòng)的電子只有在距離分子 re之內(nèi)時(shí)，其軌道才有顯著的變化。有效截面是微觀截面。它在物理意義上相當(dāng)于一個(gè)電子在氣體中經(jīng)過(guò)單位路程和氣體分子碰撞的概率。期間遭受
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