真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)ppt課件-在線瀏覽
2025-06-22 03:19本頁(yè)面
【正文】 下或較高壓強(qiáng)下長(zhǎng)時(shí)間工作； ? 在擴(kuò)散泵通大氣之前，應(yīng)將泵油冷卻到安全溫度，防止高溫下油氧化； ? 高真空泵在工作之前，先要開(kāi)啟水冷； ? 使用電離計(jì)時(shí)，應(yīng)在真空室壓強(qiáng)低于 101Pa，才接通電離計(jì)； ? 真空系統(tǒng)停止工作時(shí)，應(yīng)將系統(tǒng)內(nèi)的各元件（包括真空室）都保持真空狀態(tài)下封存，但機(jī)械泵要通大氣； 真空系統(tǒng)元件及連接 ? 真空元件 : 真空室、真空泵、真空測(cè)量裝置、連接導(dǎo)管、真空閥門(mén)、捕集器（阱）、除塵器、真空繼電器 ?真空閥門(mén) ?密封連接 真空閥門(mén) 真空閥門(mén)的作用： ?開(kāi)關(guān)氣路 ?控制氣流大小 ?定量充氣。 ?密封圈和法蘭材料的線膨脹系數(shù)相差較大，加熱不均勻或密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)得不正確，會(huì)引起局部變形而造成漏氣 真空閥門(mén)的金屬墊密封的優(yōu)缺點(diǎn) 真空連接及密封 ? 真空法蘭（ Vacuum Flanges)連接 ? 動(dòng)密封連接 ? 引入接口（ Fittings ） VCR、 VCO、 NPT、快速接頭、底板密封式（ Baseplate）接頭、測(cè)試用圓端口及軟管接頭 ? 觀察窗（ Viewports） 穿通密封件 (Feedthroughs) 穿通密封件是一種可以穿過(guò)真空腔壁來(lái)傳輸各種電功率、電信號(hào)、運(yùn)動(dòng)、運(yùn)轉(zhuǎn)、流體及光束等的密封器件。電穿通密封件主要分為以下四種：功率式，同軸信號(hào)式，熱電偶式，陶瓷隔離式。 ? 傳動(dòng)式穿通密封件 : 傳動(dòng)式穿通密封件是一種精密的操作裝置，可用來(lái)移動(dòng)或定位真空室內(nèi)的物體。 磁流體 轉(zhuǎn)軸 轉(zhuǎn)動(dòng) 裝置 利用彎曲的 伸縮管 轉(zhuǎn)動(dòng)傳送 線性傳動(dòng) 利用伸縮管 進(jìn)行 傾斜操作 ? 光學(xué)材料可選 Kodial玻璃、石英、藍(lán)寶石、特殊玻璃材料 (例如硒化鋅，氟化鎂等 )及有光學(xué)鍍層的 7980高純?nèi)廴谑ⅲ▽?zhuān)用于傳輸激光）。 材料表面凈化 ? 表面凈化 ：在真空工藝進(jìn)行前，先從工件或系統(tǒng)材料表面清除所不期望的物質(zhì)的過(guò)程 ? 凈化的目的： 為了改進(jìn)真空系統(tǒng)中所有器壁和其他組件表面在各工作條件下的工作穩(wěn)定性 ? 清潔表面的分類(lèi)： 原子級(jí)清潔表面 ； 工藝技術(shù)上的清潔表面 。 放電清洗 應(yīng)用于高真空、超高真空系統(tǒng)的清洗除氣。 非金屬材料的清洗 ? 玻璃陶瓷的清洗 溶劑清洗 ? 塑料與橡膠的清洗 特殊清洗 ? 污染物的確定 ? 清洗方法的確定 ? 清
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1