真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)ppt課件(編輯修改稿)
2025-06-01 03:19 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 ） VCR、 VCO、 NPT、快速接頭、底板密封式（ Baseplate）接頭、測試用圓端口及軟管接頭 ? 觀察窗（ Viewports） 穿通密封件 (Feedthroughs) 穿通密封件是一種可以穿過真空腔壁來傳輸各種電功率、電信號(hào)、運(yùn)動(dòng)、運(yùn)轉(zhuǎn)、流體及光束等的密封器件。 ? 電穿通密封件 :電穿通密封件，包括各種不同規(guī)格的接口、耐壓及載流指標(biāo)。電穿通密封件主要分為以下四種：功率式，同軸信號(hào)式，熱電偶式，陶瓷隔離式。 ? 流體穿通密封件 :傳送液體或氣體到真空腔室內(nèi)的設(shè)備，目的通常是為了散熱冷卻，或提供動(dòng)力給氣動(dòng)或液壓驅(qū)動(dòng)的裝置。 ? 傳動(dòng)式穿通密封件 : 傳動(dòng)式穿通密封件是一種精密的操作裝置，可用來移動(dòng)或定位真空室內(nèi)的物體。 ? 光學(xué)式穿通密封件 (Viewports)是安裝在真空腔壁上的特定的玻璃窗口，其用途包括： 可讓操作員觀察真空室內(nèi)的操作過程； 透過特定波長的光束進(jìn)行物理或化學(xué)反應(yīng)； 測量在工藝中放射出來的光波或其他電磁波 ； 或監(jiān)控某特定波長的光學(xué)效應(yīng) (橢圓偏光測量術(shù) )等。 磁流體 轉(zhuǎn)軸 轉(zhuǎn)動(dòng) 裝置 利用彎曲的 伸縮管 轉(zhuǎn)動(dòng)傳送 線性傳動(dòng) 利用伸縮管 進(jìn)行 傾斜操作 ? 光學(xué)材料可選 Kodial玻璃、石英、藍(lán)寶石、特殊玻璃材料 (例如硒化鋅，氟化鎂等 )及有光學(xué)鍍層的 7980高純?nèi)廴谑ⅲ▽Ｓ糜趥鬏敿す猓? 真空衛(wèi)生 ? ? 材料表面凈化 ? ? 放電清洗 ? ? 非金屬材料的清洗 ? ? ? ? 環(huán)境空氣中的塵埃和拋光殘?jiān)捌渌袡C(jī)物等； ? 水基類 :操作者的手汗、吹氣時(shí)的水汽、唾液等； ? 表面氧化物：材料長期放置在空氣中或放置在潮濕空氣中所形成的表面氧化物； ? 酸、堿、鹽類物質(zhì)：清洗時(shí)的殘余物質(zhì)、手汗、水中的礦物質(zhì)等； ? 油脂：加工、裝配、操作時(shí)沾染上的潤滑劑、切削液、真空油脂等。 材料表面凈化 ? 表面凈化 ：在真空工藝進(jìn)行前，先從工件或系統(tǒng)材料表面清除所不期望的物質(zhì)的過程 ? 凈化的目的： 為了改進(jìn)真空系統(tǒng)中所有器壁和其他組件表面在各工作條件下的工作穩(wěn)定性 ? 清潔表面的分類： 原子級(jí)清潔表面 ； 工藝技術(shù)上的清潔表面 。 ? 溶劑清洗（ 最普遍 ） 軟化水或含水系統(tǒng)；無水有機(jī)溶劑；石油分餾物；乳狀液或溶劑蒸氣；金屬清洗劑 ? 超生清洗（
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