掃描電子顯微分析(已修改)
2025-01-10 05:37 本頁(yè)面
【正文】 掃描電子顯微分析 掃描電子顯微分析1． 掃描電子顯微鏡的工作原理及特點(diǎn) 掃描電鏡是用聚焦電子束在試樣表面逐點(diǎn)掃描成像。試樣為塊狀或粉末顆粒，成像信號(hào)可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。 其中二次電子是最主要的成像信號(hào)。由電子槍發(fā)射的能量為 5～ 35keV的電子，以其交叉斑作為電子源，經(jīng)二級(jí)聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量、一定束流強(qiáng)度和束斑直徑的微細(xì)電子束，在掃描線圈驅(qū)動(dòng)下，于試樣表面按一定時(shí)間、空間順序作柵網(wǎng)式掃描。 聚焦電子束與試樣相互作用，產(chǎn)生二次電子發(fā)射（以及其它物理信號(hào)），二次電子發(fā)射量隨試樣表面形貌而變化。二次電子信號(hào)被探測(cè)器收集轉(zhuǎn)換成電訊號(hào)，經(jīng)視頻放大后輸入到顯像管柵極，調(diào)制與入射電子束同步掃描的顯像管亮度，得到反映試樣表面形貌的二次電子像。 掃描電子顯微分析掃描電鏡具有以下的特點(diǎn)： （ 1）可以觀察直徑為 0～ 30mm的大塊試樣，制樣方法簡(jiǎn)單。 （ 2）場(chǎng)深大、三百倍于光學(xué)顯微鏡，適用于粗糙表面和斷口的分析觀察；圖像富有立體感、真實(shí)感、易于識(shí)別和解釋。 （ 3）放大倍數(shù)變化范圍大，一般為 15～ 202300倍，最大可達(dá) 10～ 300000倍，對(duì)于多相、多組成的非均勻材料便于低倍下的普查和高倍下的觀察分析。 （ 4）具有相當(dāng)?shù)姆直媛?，一般?3～ 6nm， 最高可達(dá) 2nm。 掃描電子顯微分析 掃描電子顯微分析 （ 5）可以通過(guò)電子學(xué)方法有效地控制和改善圖像的質(zhì)量。如通過(guò) γ 調(diào)制可改善圖像反差的寬容度，使圖像各部分亮暗適中。采用雙放大倍數(shù)裝置或圖像選擇器，可在熒光屏上同時(shí)觀察不同放大倍數(shù)的圖像或不同形式的圖像。 （ 6）可進(jìn)行多種功能的分析。與 X射線譜儀配接，可在觀察形貌的同時(shí)進(jìn)行微區(qū)成分分析；配有光學(xué)顯微鏡和單色儀等附件時(shí)，可觀察陰極熒光圖像和進(jìn)行陰極熒光光譜分析等。 （ 7）可使用加熱、冷卻和拉伸等樣品臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)試驗(yàn)，觀察在不同環(huán)境條件下的相變及形態(tài)變化等。 掃描電子顯微分析掃描電鏡的主要結(jié)構(gòu)電子光學(xué)系統(tǒng)電子槍聚光鏡（ 第一、 第二聚光鏡和物 鏡） 物鏡光闌掃描系統(tǒng)掃描信號(hào)發(fā)生器掃描放大控制器掃描偏轉(zhuǎn)線圈 掃描電子顯微分析 掃描電子顯微分析信號(hào)探測(cè)放大系統(tǒng) 用閃爍體計(jì)數(shù)系統(tǒng)探測(cè)二次電子、背散射電子等電子
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