電子探針顯微分析(2)(已修改)
2025-05-12 01:47 本頁面
【正文】 第五章 電子探針顯微分析 2 電子探針顯微分析 電子探針（ Electron Probe MicroanalysisEPMA）的主要功能是進(jìn)行微區(qū)成分分析。它是在電子光學(xué)和 X射線光譜學(xué)原理的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種高效率分析儀器。 其原理是：用細(xì)聚焦電子束入射樣品表面，激發(fā)出樣品元素的特征 X射線，分析特征 X射線的波長(zhǎng)（或能量）可知元素種類；分析特征 X射線的強(qiáng)度可知元素的含量。 其鏡筒部分構(gòu)造和 SEM相同，檢測(cè)部分使用 X射線譜儀，用來檢測(cè) X射線的 特征波長(zhǎng)（波譜儀） 和 特征能量（能譜儀）， 以此對(duì)微區(qū)進(jìn)行化學(xué)成分分析。 3 電子探針的分析原理和構(gòu)造 分為三大部分：鏡筒、樣品室、和信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)。 4 ?鏡筒和樣品室部分與 SEM相同。 ?信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)是 X射線譜儀，對(duì)微區(qū)進(jìn)行化學(xué)成分分析； ?波長(zhǎng)分散譜儀或波譜儀（ WDS），用來測(cè)定特定波長(zhǎng)的譜儀； ?能量分散譜儀或能譜儀（ EDS），用來測(cè)定 X射線特征能量的譜儀 電子光學(xué)系統(tǒng)基本相同，不同之處電子探針多了光學(xué)顯微鏡 5 X射線譜儀 ? 電子束轟擊樣品將產(chǎn)生特征 X射線，不同的元素有不同的 X射線特征波長(zhǎng)和能量。 ? 通過鑒別其特征波長(zhǎng)或特征能量就可以確定所分析的元素。 ? 利用特征波長(zhǎng)來確定元素的儀器稱為波長(zhǎng)色散能譜儀（ WDS），利用特征能量的就稱為能量色散譜儀（ EDS）。 6 1. 波譜儀結(jié)構(gòu)及工作原理 要使同一臺(tái)儀器兼具形貌分析和成分分析功能，往往將掃描電鏡和電子探針組合在一起。6 . 波長(zhǎng)分散譜儀（波譜儀 W DS ）1 ．工作原理分光晶體 1) 已知電子束入射樣品表面可激發(fā)出各個(gè)
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