tft制造原理和流程(ppt72頁(yè))-在線瀏覽
2025-02-19 00:08本頁(yè)面
【正文】 （ cell后工程） cell 制盒流程示意圖 T F T 側(cè) C F 側(cè) A R R A Y 基 板 CF 基 板 消 泡 激 光 切 線 CELL工藝流程及設(shè)備 Doctor Roll PI液噴頭 UV洗凈單元 Anilox Roll 流片方向 移載機(jī)械手 預(yù)干燥單元 走行 /升降式 印刷臺(tái) 印刷版 （ 版胴 ） CELL前工程 （配向膜印刷） CELL工藝流程及設(shè)備 PI dispenser Doctor 滾輪 金屬板滾輪 版胴 預(yù)干燥部 印刷部 加熱盤(pán) 基板 非接觸式 (Pin)加熱 干燥方式 Pin ＰＩ dispenser Anilox滾輪 版胴 印刷 臺(tái)面 Doctor 滾輪 印刷原理 CELL前工程 （配向膜印刷） CELL工藝流程及設(shè)備 摩擦滾輪 空氣洗凈單元 摩擦頭 (升降式 ) 流向 摩擦平臺(tái) （走行式 ） ＋ 移載機(jī)械手 ＋ 空氣洗凈單元 CELL前工程 （摩擦取向） CELL工藝流程及設(shè)備 配向材分子（ 無(wú)規(guī) 方向） 摩擦滾輪 玻璃 基板 摩擦滾輪 布 摩擦平臺(tái) 摩擦 方式 CELL前工程 （摩擦取向） CELL工藝流程及設(shè)備 真空槽 上基板 液晶Ｄｉｓｐｅｎｓｅｒ 液晶 下基板 Ｓｅａｌ/Au Ｄｉｓｐｅｎｓｅｒ UV硬化 貼合 本硬化 滴下 Ｄｉｓｐｅｎｓｅｒ Ｓｐａｃｅｒ散布 Ｓｐａｃｅｒ固著 下基板 ODF Line CELL工藝流程及設(shè)備 CELL中工程(墊料 散布 ) 設(shè)備外観イメージ図 ０５０ 排 氣 墊料 輸送 部 散布 腔體 清潔和 檢查組合 上流 下流 噴嘴 基板 真空 洗凈 檢查攝像頭 監(jiān)視器 平臺(tái) ＳＵＳ配管 (使墊料帶負(fù)電 ) CELL工藝流程及設(shè)備 爐子 構(gòu)造和加熱方式 無(wú)塵恒溫箱 過(guò)濾 網(wǎng) ＨＥＡＴＥＲ 風(fēng) 扇 Ｃｅｎｔｅｒ Ｂｌｏｗ Ｓｉｄｅ Ｂｌｏｗ 基板冷卻方式 冷卻搬送單元 搬運(yùn)機(jī)械手 搬運(yùn) 單 元 Spacer固著裝置圖 CELL中工程(Spacer固著 ) CELL工藝流程及設(shè)備 Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ Ｃａｍｅｒａ Seal Dispenser放大圖 Base Frame Transfer Robot Stage Seal印刷裝置圖 涂布 Table 散布單元 高度傳感器 單元 對(duì)位攝像頭 基板 高度傳感器 噴嘴 Seal材 CELL中工程 (Seal印刷 ) CELL工藝流程及設(shè)備 Ｄｉｓｐｅｎｓｅｒ Ｃｏｎｔｏｌｌｏｒ 固定 壓 力方式 基板 驅(qū)動(dòng)方式 ：４ 軸 X、 Y、 ΘStage＋ Nozzle Ｚ 軸 金屬Ｓｙｒｉｎｇｅ 追從傳感器 CELL中工程 (Ag膠涂布 單 元 ) CELL工藝流程及設(shè)備 CELL中工程 (液晶滴下 ) Alignment Camera 液晶 Dispenser Transfer Robot Stage 滴下量計(jì)量 Unit CELL工藝流程及設(shè)備 CELL中工程 (真空貼合 ) 下 Chamber 對(duì)位攝像頭 UV Spot Lamp 上 Chamber Base Frame Transfer Robot 真空泵 上定盤(pán) ESC 下定盤(pán) ESC CELL工藝流程及設(shè)備 CELL中工程 (Seal硬化 ) 熱三次元架橋Ｕ Ｖ 照射Ｏ ｌｉｇ ｏ ｍ ｅ ｒＢ ａ ｓ ｅ 樹(shù)脂硬化劑Ｕ Ｖ 硬化 硬化 本本 硬化硬化圖 1 S e a l硬化原理圖熱三次元架橋照射樹(shù)脂硬化劑硬化 硬化 本本 硬化硬化熱三次元架橋照射樹(shù)脂硬化劑硬化 硬化 本本 硬化硬化樹(shù)脂硬化劑硬化 硬化 本本 硬化硬化圖 硬化原理圖加熱 Base 樹(shù)脂 三次元架橋 CELL工藝流程及設(shè)備 Metal Halide 輔助反射鏡 照射 平臺(tái) 冷卻水 ＜ＵＶ照射ユニット＞ ＜ 照射 ＞Lamp 冷卻 Filter ? 冷卻 ＜ＬＤ?ＵＬＤ部＞ ＜
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