sem電子顯微鏡與電子探針-在線瀏覽
2025-06-24 18:13本頁(yè)面
【正文】 100,000 (1μ m)2 AcAsK＝三、 主要參數(shù) 2． 分辨率 ? 樣品上可以分辨的兩個(gè)鄰近的質(zhì)點(diǎn)或線條間的距離。 △ 通常近似地把衰減長(zhǎng)度 λ 當(dāng)作電子的非彈性散射平均 自由程，亦稱為逸出深度。 射出表面， E～Ep △ 特征能量損失 △ 多次散射后射出－形成本底 △ 在樣品中停止，變?yōu)槲针娏? △ 從樣品透射 (TEM) △ 二次電子：外層價(jià)電子激發(fā) (SEM) △ 俄歇電子：內(nèi)層電子激發(fā) (AES) △ 特征 X射線：內(nèi)層電子激發(fā) (EPMA) △ 連續(xù) X射線：軔致輻射 (本底） 對(duì)于半導(dǎo)體材料： △ 陰極熒光 △ 電子束感生電流 2．檢測(cè)電子的能量分布 (二 ) 信息深度 △ 非彈性散射平均自由程： 具有一定能量的電子連續(xù)發(fā)生兩次非彈性碰撞 之間所經(jīng)過(guò)的距離的平均值。一、簡(jiǎn)介 二、基本物理概念 三、主要參數(shù) 四、工作模式與襯度原理 五、主要部件 六、應(yīng)用舉例 七 、 電子探針 掃描電子顯微鏡與電子探針 (Scanning Electron Microscope 簡(jiǎn)稱 SEM and Electron Probe Microanalysis 簡(jiǎn)稱 EPMA ) 一、簡(jiǎn)介 SEM是利用聚焦電子束在樣品上掃描時(shí)激發(fā)的某種物理信號(hào)來(lái)調(diào)制一個(gè)同步掃描的顯象管在相應(yīng)位置的亮度而成象的顯微鏡。 與普通顯微鏡的差別 ： 電子波長(zhǎng) E為電子能量，單位 eV 當(dāng) E = 30KeV 時(shí) , λ ≈ )( nmE?? 普通顯微鏡 SEM 基本原理 光折射成象 同步掃描 入射束波長(zhǎng) 400 700 nm 能量為 E的電子 放大倍數(shù) ～1600 幾十萬(wàn) 分辨率 200 nm nm 景深 是普通顯微鏡的 300倍 學(xué)習(xí)的重要性 ： ▲ 是形貌分析的重要手段 ▲ 二次電子象在其它分析儀器中的應(yīng)用 ▲ 基本物理概念、儀器參數(shù)
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