電子顯微鏡ppt課件(2)-在線瀏覽
2025-06-21 06:57本頁面
【正文】 品上電子束的位置與顯像管熒光屏上電子束的位置是一一對應(yīng)的。 2）由于不需要穿過樣品， SEM的加速電壓遠(yuǎn)比TEM低；在 SEM中加速電壓一般在 200V 到 50 kV范圍內(nèi)。 12 掃描電鏡的特點 ? A、電子束在樣品表面掃描 ? B、用于觀察樣品的形貌（具有立體感） ? C、通過電子束激發(fā)樣品的特征 X射線獲取樣品的成分信息。 ◆ 景深大 。 ◆ 分辨本領(lǐng)比較高； 14 ◆ 樣品制備非常方便 ◆ 可直接觀察大塊試樣 ◆ 固體材料樣品表面和界面分析 ◆ 適合于觀察比較粗糙的表面： 材料斷口和顯微組織三維形態(tài) 15 16 17 18 19 掃描電鏡的結(jié)構(gòu) 20 掃描電鏡由六個系統(tǒng)組成 (1) 電子光學(xué)系統(tǒng)（鏡筒） (2) 信號收集系統(tǒng) (3) 圖像顯示和記錄系統(tǒng) (4) 真空系統(tǒng) (5) 電源系統(tǒng) 21 (1)電子光學(xué)系統(tǒng) 由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件組成。 22 ? ①電子槍 ? SEM 中的電子槍與 TEM中的相似，但加速電壓比 TEM低 ? SEM中束斑越小，即成像單元越小，相應(yīng)的分辨率就愈高。一般有三級透鏡。 ? 第三個是弱透鏡，具有較長的焦距，習(xí)慣于叫物鏡，其目的在于使樣品和透鏡之間留有一定空間以裝入各種信號探測器 ? SEM中束斑越小，即成像單元越小，相應(yīng)的分辨率就愈高。它的作用是： 1) 使入射電子束在樣品表面掃描，并使陰極射線顯像管電子束在熒光屏上作同步掃描； 2) 改變?nèi)肷涫跇悠繁砻娴膾呙枵穹瑥亩淖儝呙柘竦姆糯蟊稊?shù)。 樣品臺本身是復(fù)雜而精密的組件，能進(jìn)行平移、傾斜和轉(zhuǎn)動等運動。（拉伸、疲勞） 26 (2) 信號收集和顯示系統(tǒng) 掃描電鏡應(yīng)用的物理信號可分為：1) 電子信號，包括二次電子、背散射電子、透射電子和吸收電子。 27 常見的電子收集器是由閃爍體、光導(dǎo)管和光電倍增管組成的部件?？梢姽庑盘柾ㄟ^光導(dǎo)管送入光電倍增器，光信號放大，即又轉(zhuǎn)化成電流信號輸出，電流信號經(jīng)視頻放大后就成為調(diào)制信號。 為保證電子光學(xué)系統(tǒng)的正常工作，對鏡筒真空度有一定要求。 ? 入射電子束束斑直徑 ? 入射電子束在樣品中的擴展效應(yīng) ? 成像方式及所用的調(diào)制信號
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