機(jī)械設(shè)計(jì)制造及其自動(dòng)化專(zhuān)業(yè)畢業(yè)設(shè)計(jì)(論文)外文資料翻譯-在線(xiàn)瀏覽
2024-07-30 18:14本頁(yè)面
【正文】 所有權(quán)（ CoD） 的成本 . 然而，實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo) 是 一個(gè)很 大的挑戰(zhàn)，因?yàn)榧訜崞骱屠鋮s器 控制溫度 要求操作遠(yuǎn) 離 PL[2], 否則其性能 將被它們的 振動(dòng)和污染 所破壞 。 因此，一個(gè) 新的結(jié)構(gòu)和控制算法 是 PL內(nèi)部 溫度 控制的必要和重要部分。 著名的經(jīng)典 方法之一是被 廣泛應(yīng)用于 簡(jiǎn)單或低精度 溫度控制 系統(tǒng)的 單閉環(huán)回路控制 結(jié)構(gòu) 【 3】 。預(yù)測(cè) 前饋控制結(jié)構(gòu)已被證明具有更好的 滯后 系統(tǒng)性能。但 是 上述使用方法，很難實(shí)現(xiàn) PL內(nèi)部溫度 控制的 高精確度和 快 收斂 率 。本文 大致分為四個(gè) 部分。 第二部分 是一個(gè) 多 閉環(huán)回路 溫度控制結(jié)構(gòu) 的分析。 在文章的最后一 部分 ，對(duì)比實(shí)驗(yàn)驗(yàn) 證了系統(tǒng)的有效性 這種顯示 ，最后，給出了 結(jié)論。 不同于傳統(tǒng) 的 直接加熱和冷卻控制對(duì)象 的方法 ，它 借助于冷卻水和冷卻套間的熱交換使 PL 內(nèi)部溫度恒定。 TCU 由水箱 、 溫度傳感器 、 溫度控制器 、 加熱器 、 冷卻器 和 泵 組成。 TCU 和光刻工具放置在不同的潔凈室，如圖 1所示 。 除了 PL，其他光刻技術(shù) 的部分 ，如晶圓 階段 、 標(biāo)線(xiàn)的階段 、 標(biāo)線(xiàn)交接 、 晶圓移交等， 都在操作時(shí)產(chǎn)生熱量 。 循環(huán)系統(tǒng) 回收冷卻水 ， 節(jié)省最大能量 ， 是 很必要的。從 儲(chǔ)水 中抽出冷卻水 通過(guò)管道和 分離器進(jìn)入冷卻套 ，最后通過(guò)合成器 、 管道和 冷卻 器 流回儲(chǔ)水箱 。干擾 多 ，包括冷卻水 溫度波動(dòng) ， PL內(nèi)部熱量散失 ， PL和外部 介質(zhì)之間的熱交換 。 在這個(gè)循環(huán)系統(tǒng)中， 冷卻水溫度波動(dòng) 達(dá)到 ℃是最差的情形 。至于激光，它的散熱量大概是 15W。 但是， PL和外部介質(zhì)之間交換的熱量 由于其復(fù)雜性 ，故 難以計(jì)算 。 此外， PL 的 復(fù)雜結(jié)構(gòu)導(dǎo)致不平衡熱交換，而由于 其體積大導(dǎo)致慣性在和小體積物體相比時(shí)，溫度波動(dòng)較小。 此外， 在開(kāi)環(huán)結(jié)構(gòu)中 還有 很大的穩(wěn)態(tài)誤差。 3 多閉環(huán)控制 結(jié)構(gòu) 多閉環(huán)溫度控制結(jié)構(gòu)由一個(gè)內(nèi)部 CCS 和一個(gè)外部 PCCS 組成。有兩個(gè)分別帶有兩個(gè)控制器的反饋回路。 TCU 水箱中的冷卻水溫度控制 (Tw)形成了第二條回路 . 分析這個(gè)系統(tǒng)的運(yùn)作質(zhì)量是很容易。 然后，發(fā)送新的設(shè)定值 Tt給 TCU 的 溫度控制器 。 PL 內(nèi)部溫度期望設(shè)定值通過(guò)一臺(tái)機(jī)器連續(xù)地給出。 Tw控制回路是一個(gè)快速控制回路，能快速跟隨主回路設(shè)定值 Tt。二次回路 具有很強(qiáng)的抗內(nèi)部干擾的能力。 圖 3顯示了 關(guān)于 上述 描述 串級(jí)控制系統(tǒng)的控制原理圖。 Gm(s) Gm(s)表示主控制回路傳遞函數(shù)， Gs(s)表示二次控制回路傳遞函數(shù)。 表示 TCU水箱中冷卻水遲滯 ， 表示通過(guò)管道的冷卻水遲滯 ， 表示 PL 內(nèi)部熱交換遲滯 ， Nt(s) 表示 TCU外部擾動(dòng) ,Np(s)表示管道外擾動(dòng) ,Nc(s)表示 PL外部擾動(dòng) ,Nn(s)表示 PL內(nèi)部擾動(dòng) ,Rl(s)表示 PL 內(nèi)部輸入溫度， Rt(s)表示 TCU 水箱中冷卻水的輸入溫度， C1(s)表示 PL 內(nèi)的輸出溫度， Ct(s)表示 TCU 水箱中冷卻水的輸出溫度。因此，主回路的輸入輸出函數(shù)可表示如下： 在此 早期的研究表明， PL的時(shí)間常數(shù)約為 4h。然而，根據(jù)方程式 (2)和（ 3)， PL 里溫度的收斂率從開(kāi)始到穩(wěn)態(tài)變慢，因?yàn)?和 的延遲。在定態(tài)的狀態(tài)之下，由于 的作用， 當(dāng)瞬時(shí)溫度變動(dòng)超過(guò) 冷卻水溫度 ℃時(shí)， PL 里的溫度變動(dòng)超過(guò) 1℃。因此介紹 PCCS來(lái)提高控制特性。這個(gè)圖省略了操作系統(tǒng) ，在系統(tǒng)的框中確定了主要組成環(huán)。一個(gè)是 PL里溫度的主
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