機(jī)械設(shè)計(jì)制造及其自動(dòng)化專業(yè)畢業(yè)設(shè)計(jì)(論文)外文資料翻譯-文庫(kù)吧資料
2025-06-11 18:14本頁(yè)面
【正文】 G1(s） 為 傳遞函數(shù) Gp(s)為 對(duì)于簡(jiǎn)單的閉環(huán)系統(tǒng) CCS，很容易消除它的穩(wěn)態(tài)誤差。 二次回路中的輸入輸出函數(shù)如下所示： 根據(jù)二次回路的穩(wěn)態(tài)，輸出 Ct(s)近似等于輸入 Rt(s)。 Hm(s) 表示測(cè)量設(shè)備主回路傳遞函數(shù)， Hs(s)表示測(cè)量設(shè)備二次回路傳遞函數(shù)。在下面的圖表和方程式，Gt(s)表示加熱器和冷卻器傳遞函數(shù) ,Gp(s)表示管道傳遞函數(shù)， Gl(s)表示 PL 傳遞函數(shù)。 此外，還可以減少 對(duì)主回路 非線性和 遲滯的影響。 當(dāng)一個(gè)新的 設(shè)定值 Tt發(fā)送到 TCU，它需要幾分鐘 時(shí)間去調(diào)整 TCU 水箱中的水溫至設(shè)定值。 Ti 控制回路是一個(gè)慢控制回路。隨后根據(jù)溫度測(cè)量 值 Tw和新的設(shè)定值 Tt間的偏差 ， TCU中的控制算法計(jì)算加熱器和冷卻器的輸入值，并對(duì) TCU 中水箱里的冷卻水進(jìn)行加熱或者降溫，直到溫度達(dá)到新的設(shè)定值。如果 PL 內(nèi)部 溫度偏離 期望 值 (Ts), 嵌入 主 控制器 中的 控制算法會(huì) 通過(guò)比較溫度的測(cè)量值 Tl和期望值 Ts之間的偏差而 計(jì)算一個(gè)新的冷卻水溫度設(shè)定值 （ Tt） 。主要回路用來(lái)控制 PL內(nèi)部的溫度 (T1)。 串 連 控制結(jié)構(gòu) PL溫度控制的內(nèi)部 CCS 如圖 2所示。在以下部分中，我們將介紹一個(gè)提高 PL 內(nèi)部溫度控制的控制結(jié)構(gòu)， 并解釋如何提高溫度控制精度和收斂 率 。 上述分析表明， 僅僅通過(guò)開(kāi)環(huán)結(jié)構(gòu)使 PL內(nèi)部溫度控制精度高和收斂速度快 是非常難以實(shí) 現(xiàn)的。遲滯多 主要包括TCU 加熱和冷卻 3 秒遲滯，冷卻水交換 3 分鐘遲滯，還有 PL 和冷卻套間熱交換 10 分鐘遲滯。 PL 與 外部介質(zhì)之間熱交換 來(lái)自兩個(gè)方面 ， 一方面來(lái)自 PL 與其相鄰零件之間的相互熱交換，另一方面來(lái)自 PL外部箱體和周圍空氣的導(dǎo)熱和對(duì)流熱交換。PL內(nèi)部熱量散失有兩個(gè)原因 ，一個(gè)是 當(dāng) 激光穿過(guò)透鏡 時(shí)，內(nèi)部 輻射和 導(dǎo) 熱 交換 ，另一個(gè)是在鏡頭和內(nèi)部?jī)艋?之間的導(dǎo)熱和對(duì)流熱交換。冷卻水溫度波動(dòng)是多種因素造成的，其中包括 TCU內(nèi) 部 自 勵(lì)溫度 震蕩造成的 非線性 加熱冷卻 ， 管道和周圍氣體之間的熱傳遞 ，以及光刻 工具其他地方產(chǎn)生的熱量 。 對(duì)冷卻水循環(huán)系統(tǒng)的分析 表明了影響 PL內(nèi)部 溫度的 三個(gè) 主要因素 ： 干擾多，遲 滯多， 還有 慣性 大 。圖 1 展示了 包括 TCU、分離器、冷卻 套 和管道 的循環(huán)系統(tǒng)。 TCU 中的 冷卻水還用于冷卻光刻技術(shù)的其他部 件 。 理論上，這種方法屬于開(kāi) 環(huán) 結(jié)構(gòu) 。 它用于 調(diào)節(jié)冷卻水的溫度以達(dá)到需求值 。 冷卻水通過(guò)長(zhǎng)距離管道由 TCU 輸送 至冷卻外殼。 2 遠(yuǎn)程間接溫度控制方法 為了防止震動(dòng)和污染影響 PL 的性能 ，一個(gè) 遠(yuǎn)程 間接溫度控制 的方法被提出來(lái)控制 PL 內(nèi)部 溫度 。 第三部分，一個(gè)雙進(jìn) 雙出非線性比例積分（ PI）算法 的提出用來(lái)提高控制過(guò)程的收斂速度和精度。 第一部分解釋了一個(gè) 遠(yuǎn)程 間接溫度控制方法的應(yīng)用。 在此， 本文 提出了一種新的方法，即多 閉 環(huán)溫度控制 系統(tǒng)，含有一個(gè)內(nèi)部 CCS和一個(gè)外部 PCCS。另一種有效的方法 ， 并行串級(jí)控制結(jié)構(gòu)（ PCCS）， 也 開(kāi)發(fā)了具有 延遲 分布 式干擾的系統(tǒng) 。當(dāng)被控對(duì)象變得更加復(fù) 雜或 產(chǎn)生分布式干擾 時(shí)， 串級(jí)控制結(jié)構(gòu)（ CCS） 的 提出改善 了 精度和收斂 率 【 4， 5】 。 許多溫度控制結(jié)構(gòu) 已經(jīng)被提出了。另一個(gè)原因是， PL 內(nèi)部結(jié)構(gòu)復(fù)雜，它 包含數(shù)十個(gè)鏡頭 ， 會(huì)導(dǎo)致幾個(gè)小時(shí)慣性，所以 PL
畢業(yè)設(shè)計(jì)相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1