機(jī)械設(shè)計(jì)制造及其自動(dòng)化專業(yè)畢業(yè)設(shè)計(jì)(論文)外文資料翻譯(參考版)
2025-06-07 18:14本頁(yè)面
【正文】 附件 2：外文原文 。 何艷 ，生于 1979 年，目前是中國(guó)上海大學(xué)天華學(xué)院的一名老師，她 于 2021 年獲得武漢大學(xué)機(jī)械工程碩士。他于 1992年獲得華中科技大學(xué)機(jī)械科學(xué)和工程學(xué)碩士。他的研究包括高精度溫度控制，先進(jìn)的工藝控制等。經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單的改進(jìn)，它也可以控制其他的需要遠(yuǎn)程遙控的非直接溫度控制，尤其是侵入液體的侵入式光刻等復(fù)雜對(duì)象的溫度控制。它在收斂率，控制精確性，抗干擾能力方面比開(kāi)環(huán)結(jié)構(gòu)和閉環(huán) CCS 更好。 6 結(jié)論 通過(guò)使用閉環(huán)交互系統(tǒng)可以提高光刻 PL的溫度控制準(zhǔn)確性。即使外部溫度 在內(nèi)擺動(dòng)， PL內(nèi)的溫度仍可以達(dá)到 的穩(wěn)定性。圖 9（ d）顯示了具有非線性 PI 算法的 PCCS 系統(tǒng)的溫度曲線。圖 9（ b）顯示了使用閉環(huán)系統(tǒng) CCS在 20 小時(shí)后代到了穩(wěn)定。圖 9（ a）展示了開(kāi)環(huán)結(jié)構(gòu)的溫度曲線。在這些試驗(yàn)中理想的 PL溫度是 22℃，非線性 PI 算法的參數(shù)是： 是 ℃， 是℃， 是 ℃， 是 ℃。工程計(jì)算機(jī)上具有智能算法。 溫度測(cè)量系統(tǒng)由 1590 模型超溫度計(jì)和一個(gè)具有 分辨率的掃描器組成。用一個(gè) 20W的白熾燈作為暴露光源。仿制的 PL與實(shí)際的 PL具有相同的溫度特性。這不僅能提高算法的適應(yīng)性和收縮率，還能增強(qiáng)系統(tǒng)的穩(wěn)定性和反干擾能力。 根據(jù)已有的規(guī)則和控制過(guò)程的輸入信息，可以獲得十六種不同的算法。 數(shù)據(jù)混合系數(shù)由已有的規(guī)則得出。 圖七顯示了非線性 PI 算法的原理圖，在接下來(lái)的圖表和方程中， 代表 TUC內(nèi)冷卻水的溫度值， 代表結(jié)合處最佳冷卻水的溫度值， 代表 PI控制法 對(duì)的影響， 代表 PI 控制法 對(duì) 的影響， 代表 PI 控制法 對(duì) 的影響，代表 PI 控制法 對(duì) 的影響， 和 代表數(shù)據(jù)融合系數(shù)。非線性 PI 算法在低級(jí)算法中使用，它將在后面的段落中介紹。它包括兩級(jí)且根據(jù)理想的動(dòng)態(tài)響應(yīng) 分為五個(gè)控制階段?？刂破鞯妮敵龆耸?TCU 里面冷卻水溫度值和結(jié)合處最佳冷卻水溫度值 。 4 非線性比例積分算法 為了進(jìn)一步提高系統(tǒng)的收斂率和精確度，一種具有非線性 PI 算法的二重輸入 和二重輸出智能控制器被設(shè)計(jì)出來(lái)，如圖六所示。即使冷卻水有溫度的變動(dòng)，他也能通過(guò)副控制器補(bǔ)償。所以輔助環(huán)獲得了物理結(jié)構(gòu)中互相延遲和互相擾動(dòng)的分離，且隔離 了主控制對(duì)象的非線性，互相延遲和互相擾動(dòng)的影響。 副環(huán)的輸入輸出的傳遞函數(shù)如下： 在副環(huán)的穩(wěn)定狀態(tài)下，輸出 和輸入 近似相等。在下面的圖表和方程式中， 代表結(jié)合處冷卻水的傳遞函數(shù)， 代表副控制器的傳遞函數(shù)。 PCCS的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它可加速主環(huán)的收斂率。從擾動(dòng)抑制的觀點(diǎn)看，根據(jù)前饋控制相同的原則來(lái)控制輔助環(huán)。當(dāng) PL內(nèi)的溫度是想要的值時(shí)，結(jié)合處冷卻水的溫度就是最佳溫度。控制環(huán) 是一個(gè)慢的控制環(huán)。在這個(gè)系統(tǒng)中， 控制運(yùn)算法則是主要的控制器根據(jù) 和 之間的偏差決定一個(gè) 新的冷卻水的最佳溫度值。它們之間的不同是主控制對(duì)象和副控制對(duì)象之間是并行的。與 CCS 相比較，也有兩個(gè)控制環(huán)和兩個(gè)控制器。 并行串聯(lián)控制結(jié)構(gòu) 圖 4是擴(kuò)展的 PCCS。需要幾個(gè)控制周期才達(dá)到下一個(gè)穩(wěn)定狀態(tài)。而且，很難獲得 PL里面很精確的溫度，因?yàn)?和 的擾動(dòng)。傳遞函數(shù)
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