機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計(論文)外文資料翻譯-閱讀頁
2025-06-23 18:14本頁面
【正文】 環(huán)，另一個是結合處冷卻水溫度的副環(huán)。 副控制對象的輸出不是主控制對象的輸入。然后輔助的控制器中的控制運算法則依照 和 之間的偏差計算 TCU的輸入?？刂骗h(huán) 是一個快速控制環(huán)，它過去一直快速的預測結合處的冷卻水最佳溫度值。這個最佳溫度將會保存為一個常數(shù)。他們之間的不同是擾動必須是可測量的前饋結構，而 PCCS可應用于不可測量的擾動。 圖 5 顯示了上面提到的并行串聯(lián)控制系統(tǒng) 的詳細原理圖。代表輔助環(huán)測量裝置的傳遞函數(shù)， 代表結合處冷卻水的輸入溫度，代表結合處冷卻水的輸出溫度。所以主環(huán)的輸入和輸出的傳遞函數(shù)可以簡化為： 比較方程（ 2）（ 3）和（ 7），我們可以得出擾動 和延遲時間常數(shù)從主環(huán)分離，只有擾動 和延遲時間常數(shù) 仍在主環(huán)內(nèi)。這種結構也控制器設計的困難。因此， PL 內(nèi)的溫度控制 可具有高精度 和 快收斂 率 。 PL 里的溫度偏差 和結合處冷卻水的溫度偏差 都是控制器的輸入端。 控制器里嵌有智能算法。高級算法決定從我們先前介紹的五個階段中選擇 [10]。 考慮到溫度控制系統(tǒng)的相互擾動特點， PI算法代替了不同比例積分算法（ PID），因為不同項目將引起高頻率振動和增加系統(tǒng)穩(wěn)定性誤差。 控制算法可以被描述如下： 其中 i=1， 2， j=1， 2， 是基本不相關的增加的 PI控制算法： 其中， 代表比例系數(shù)， 代表積分系數(shù)， 代表取樣結果， 和 分別代表在 k1 和 k 時刻的控制輸出， e（ k1）和 e（ k）分別代表（ k1）和 k時刻的信號偏差。詳細規(guī)則如下： 其中 代表由 PL 內(nèi)溫度的的穩(wěn)態(tài)誤差決定的偏差值， 代表由 PL內(nèi)溫度 的暫態(tài)誤差決定的擾動值， 代表由結合處冷卻水溫度的穩(wěn)態(tài)誤差決定的偏差值，代表由結 合處冷卻水溫度的暫態(tài)誤差決定的擾動值。根據(jù)輸入數(shù)據(jù)控制器可以靈活的選擇任何一種算法。 5 實驗驗證控制結構與算法 如圖 8 所示，建立 了 一個實驗平臺來驗證該方法的有效性，其中包括一個仿制PL，溫度傳感器，溫度測量系統(tǒng)， TUC，工程計算機，隔熱室，光源等。隔熱室模仿光刻表面隔離熱的作用。三個溫度傳感器具有高 精度的負溫度系數(shù)， 的校準精度是用來檢測 PL內(nèi)的溫度，結合處冷卻水的溫度和熱隔離室外環(huán)境的溫度 。 TCU配置了 的精確度。 用四個實驗來檢測控制系統(tǒng)和算法：（ a）是用開環(huán)結構，（ b）使用具有 PI 算法的 CCS，（ c）使用具有 PI 算法的 PCCS，（ d）使用具有非線性 PI 算法的 PCCS。 實驗結果如圖 9所示。正如圖 9所示，PL 里的溫度在 ℃穩(wěn)定且沒有達到 TCU 設置的 22℃ .由于開環(huán)系統(tǒng)中存在三個大的穩(wěn)定性誤差，使用閉環(huán)系統(tǒng)是非常必要的。圖 9（ c）顯示了溫度收斂比圖 9（ b）快 ，但 PL 內(nèi)溫度的精確度并沒有得到很大的提高。它只用了 小時達到了 穩(wěn)定。很明顯新的方法大大的增 加了收斂率，精確性和抗干擾能力。通過分析和實驗揭示了具有 PI 算法的 PCCS 系統(tǒng)具有預測和滾動最優(yōu)的能力。它用于光學領域生產(chǎn) 100nm 工具。 參 考 文 獻 簡 介 聶宏飛 ，生于 1978 年，目前是中國華中科技大學機械科學和工 程學博士。 李曉平，生于 1966 年，目前是中國華中科技大學科學與技術學院教授。 他 主要研究是光學刻錄工具的電子控制。它的主要研究是先進工藝控
畢業(yè)設計相關推薦
鄂ICP備17016276號-1