機械設計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設計(論文)外文資料翻譯(文件)
【正文】 在副環(huán)的穩(wěn)定狀態(tài)下，輸出 和輸入 近似相等。即使冷卻水有溫度的變動，他也能通過副控制器補償?？刂破鞯妮敵龆耸?TCU 里面冷卻水溫度值和結合處最佳冷卻水溫度值 。非線性 PI 算法在低級算法中使用，它將在后面的段落中介紹。 數(shù)據(jù)混合系數(shù)由已有的規(guī)則得出。這不僅能提高算法的適應性和收縮率，還能增強系統(tǒng)的穩(wěn)定性和反干擾能力。用一個 20W的白熾燈作為暴露光源。工程計算機上具有智能算法。圖 9（ a）展示了開環(huán)結構的溫度曲線。圖 9（ d）顯示了具有非線性 PI 算法的 PCCS 系統(tǒng)的溫度曲線。 6 結論 通過使用閉環(huán)交互系統(tǒng)可以提高光刻 PL的溫度控制準確性。經過簡單的改進，它也可以控制其他的需要遠程遙控的非直接溫度控制，尤其是侵入液體的侵入式光刻等復雜對象的溫度控制。他于 1992年獲得華中科技大學機械科學和工程學碩士。 附件 2：外文原文 。 何艷 ，生于 1979 年，目前是中國上海大學天華學院的一名老師，她 于 2021 年獲得武漢大學機械工程碩士。他的研究包括高精度溫度控制，先進的工藝控制等。它在收斂率，控制精確性，抗干擾能力方面比開環(huán)結構和閉環(huán) CCS 更好。即使外部溫度 在內擺動， PL內的溫度仍可以達到 的穩(wěn)定性。圖 9（ b）顯示了使用閉環(huán)系統(tǒng) CCS在 20 小時后代到了穩(wěn)定。在這些試驗中理想的 PL溫度是 22℃，非線性 PI 算法的參數(shù)是： 是 ℃， 是℃， 是 ℃， 是 ℃。 溫度測量系統(tǒng)由 1590 模型超溫度計和一個具有 分辨率的掃描器組成。仿制的 PL與實際的 PL具有相同的溫度特性。 根據(jù)已有的規(guī)則和控制過程的輸入信息，可以獲得十六種不同的算法。 圖七顯示了非線性 PI 算法的原理圖，在接下來的圖表和方程中， 代表 TUC內冷卻水的溫度值， 代表結合處最佳冷卻水的溫度值， 代表 PI控制法 對的影響， 代表 PI 控制法 對 的影響， 代表 PI 控制法 對 的影響，代表 PI 控制法 對 的影響， 和 代表數(shù)據(jù)融合系數(shù)。它包括兩級且根據(jù)理想的動態(tài)響應 分為五個控制階段。 4 非線性比例積分算法 為了進一步提高系統(tǒng)的收斂率和精確度，一種具有非線性 PI 算法的二重輸入 和二重輸出智能控制器被設計出來，如圖六所示。所以輔助環(huán)獲得了物理結構中互相延遲和互相擾動的分離，且隔離 了主控制對象的非線性，互相延遲和互相擾動的影響。在下面的圖表和方程式中， 代表結合處冷卻水的傳遞函數(shù)， 代表副控制器的傳遞函數(shù)。從擾動抑制的觀點看，根據(jù)前饋控制相同的原則來控制輔助環(huán)?？刂骗h(huán) 是一個慢的控制環(huán)。它們之間的不同是主控制對象和副控制對象之間是并行的。 并行串聯(lián)控制結構 圖 4是擴展的 PCCS。而且，很難獲得 PL里面很精確的溫度，因為 和 的擾動。 二次回路中的輸入輸出函數(shù)如下所示： 根據(jù)二次回路的穩(wěn)態(tài)，輸出 Ct(s)近似等于輸入 Rt(s)。在下面的圖表和方程式，Gt(s)表示加熱器和冷卻器傳遞函數(shù) ,Gp(s)表示管道傳遞函數(shù)， Gl(s)表示 PL 傳遞函數(shù)。 當一個新的 設定值 Tt發(fā)送到 TCU，它需要幾分鐘 時間去調整 TCU 水箱中的水溫至設定值。隨后根
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