機械設(shè)計制造及其自動化專業(yè)畢業(yè)設(shè)計(論文)外文資料翻譯-免費閱讀
【正文】 他 主要研究是光學(xué)刻錄工具的電子控制。通過分析和實驗揭示了具有 PI 算法的 PCCS 系統(tǒng)具有預(yù)測和滾動最優(yōu)的能力。正如圖 9所示，PL 里的溫度在 ℃穩(wěn)定且沒有達到 TCU 設(shè)置的 22℃ .由于開環(huán)系統(tǒng)中存在三個大的穩(wěn)定性誤差，使用閉環(huán)系統(tǒng)是非常必要的。三個溫度傳感器具有高 精度的負溫度系數(shù)， 的校準精度是用來檢測 PL內(nèi)的溫度，結(jié)合處冷卻水的溫度和熱隔離室外環(huán)境的溫度 。詳細規(guī)則如下： 其中 代表由 PL 內(nèi)溫度的的穩(wěn)態(tài)誤差決定的偏差值， 代表由 PL內(nèi)溫度 的暫態(tài)誤差決定的擾動值， 代表由結(jié)合處冷卻水溫度的穩(wěn)態(tài)誤差決定的偏差值，代表由結(jié) 合處冷卻水溫度的暫態(tài)誤差決定的擾動值。 控制器里嵌有智能算法。所以主環(huán)的輸入和輸出的傳遞函數(shù)可以簡化為： 比較方程（ 2）（ 3）和（ 7），我們可以得出擾動 和延遲時間常數(shù)從主環(huán)分離，只有擾動 和延遲時間常數(shù) 仍在主環(huán)內(nèi)。這個最佳溫度將會保存為一個常數(shù)。一個是 PL里溫度的主環(huán)，另一個是結(jié)合處冷卻水溫度的副環(huán)。然而，根據(jù)方程式 (2)和（ 3)， PL 里溫度的收斂率從開始到穩(wěn)態(tài)變慢，因為 和 的延遲。 圖 3顯示了 關(guān)于 上述 描述 串級控制系統(tǒng)的控制原理圖。 然后，發(fā)送新的設(shè)定值 Tt給 TCU 的 溫度控制器 。 此外， 在開環(huán)結(jié)構(gòu)中 還有 很大的穩(wěn)態(tài)誤差。 在這個循環(huán)系統(tǒng)中， 冷卻水溫度波動 達到 ℃是最差的情形 。 除了 PL，其他光刻技術(shù) 的部分 ，如晶圓 階段 、 標(biāo)線的階段 、 標(biāo)線交接 、 晶圓移交等， 都在操作時產(chǎn)生熱量 。 在文章的最后一 部分 ，對比實驗驗 證了系統(tǒng)的有效性 這種顯示 ，最后，給出了 結(jié)論。預(yù)測 前饋控制結(jié)構(gòu)已被證明具有更好的 滯后 系統(tǒng)性能。 溫度波動，特別是導(dǎo)致圖像失真 和 平面圖像轉(zhuǎn)變，成為 了 光學(xué)光刻工具對圖像質(zhì)量影響的 一個 關(guān)鍵因素。嵌入溫度 控制 單元（ TCU） 的 加熱器和冷卻器 用于控制 冷卻水的溫度 ，并且， TCU 必須遠離 PL,以 避免震動和污染的影響。 1國家重點實驗室，數(shù)字制造裝備與工藝，華中科技大學(xué) ,武漢 430074， 中國大學(xué) 2 天華 學(xué)院，上海師范大學(xué)，上海 202115，中國 2021 年 5月 27 日 收稿 ； 2021 年 1月 8日 修 訂； 2021 年 1月 22 日 定稿； 2021 年 2 月 6 日 電子 出 版 摘要： 圖像質(zhì)量是光學(xué)光刻工具的最重要指標(biāo)之一， 尤其易 受溫度 、 振動和投影鏡頭（ PL）污染 的影響 。 該方法已成功地應(yīng)用于光學(xué)光刻工具，制作了 臨近尺寸 （ CD） 100納米的 模型 ，其 性能 令人滿意。 許多溫度控制結(jié)構(gòu) 已經(jīng)被提出了。 第一部分解釋了一個 遠程 間接溫度控制方法的應(yīng)用。 它用于 調(diào)節(jié)冷卻水的溫度以達到需求值 。 對冷卻水循環(huán)系統(tǒng)的分析 表明了影響 PL內(nèi)部 溫度的 三個 主要因素 ： 干擾多，遲 滯多， 還有 慣性 大 。遲滯多 主要包括TCU 加熱和冷卻 3 秒遲滯，冷卻水交換 3 分鐘遲滯，還有 PL 和冷卻套間熱交換 10 分鐘遲滯。主要回路用來控制 PL內(nèi)部的溫度 (T1)。 當(dāng)一個新的 設(shè)定值 Tt發(fā)送到 TCU，它需要幾分鐘 時間去調(diào)整 TCU 水箱中的水溫至設(shè)定值。 二次回路中的輸入輸出函數(shù)如下所示： 根據(jù)二次回路的穩(wěn)態(tài)，輸出 Ct(s)近似等于輸入 Rt(s)。 并行串聯(lián)控制結(jié)構(gòu) 圖 4是擴展的 PCCS。控制環(huán) 是一個慢的
畢業(yè)設(shè)計相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1