其他顯微分析技術(shù)ppt課件-展示頁
2025-01-26 16:21本頁面
【正文】 轉(zhuǎn)磁場組成的 雙聚焦系統(tǒng)對離子分類、記錄。 分析原理： 1. 儀器結(jié)構(gòu)與分析原理 ? 初級離子的產(chǎn)生與聚焦 ? 初級離子與樣品的相互作用 ? 二次離子分類、記錄 rmvEe ?? 2Eemvr 2??rmvBev 2?meeBUmr 122 ?? 離子源產(chǎn)生的離子經(jīng)過扇形磁鐵偏轉(zhuǎn)后進(jìn)入電磁透鏡聚焦形成細(xì)小的初級離子束。 ? 分析區(qū)域可降低到 12um直徑和 5nm的深度，大大改善表面了表面成分分析的功能。第 7 章 其他顯微分析技術(shù) 離子探針分析儀（ IMA）（二次離子質(zhì)譜儀（ SIMS）） 俄歇電子能譜儀 (AES) X射線光電子譜儀（ XPS） 掃描隧道顯微鏡（ STM） 原子力顯微鏡（ AFM） 場離子顯微鏡（ FIM） 原子探針（ AP） 離子探針顯微分析 ? 離子探針儀是利用電子光學(xué)方法把 惰性氣體等初級離子加速并聚焦 成細(xì)小的高能離子 束轟擊樣品表面 ， 使之 激發(fā)和濺射二次離子 ，經(jīng)過 加速并進(jìn)行質(zhì)譜分析 。 ? 不同元素的離子具有不同的 荷質(zhì)比 e/m，據(jù)此可描出離子探針的質(zhì)譜曲線，因此，離子探針可進(jìn)行微區(qū)成分分析。 離子探針是一種微區(qū)成分分析儀器。 初級離子束轟擊樣品 產(chǎn)生等離子體 ，并有樣品的二次離子從樣品表面逸出。 ? 二次離子分類、記錄 ? 初級離子與樣品的相互作用 ? 初級離子的產(chǎn)生與聚焦 圓筒形電容器式靜電分析器的的作用： 由徑向電場產(chǎn)生的向心力，使能量比較分散的離子聚焦。利用初級離子轟擊濺射剝層，可獲得元素濃度隨深度的變化 ? 元素面分布分析。 適宜作表面化學(xué)成分分析 因此， 俄歇電子的最大特點(diǎn)就是能進(jìn)行表面化學(xué)成份分析 ?？紤]到 A電子的電離引起原子庫侖電場的改組，使 C殼層能級由 EC(Z)變成 EC(Z+?)， 其特征能量為： EABC(Z) = EA(Z) EB(Z) – EC(Z+?) EW EW — 樣品材料逸出功 ? — 修正值 EKL2L2 = EK – EL2 – EL2 EW 例如原子發(fā)射一個(gè) KL2L2俄歇電子，其能量為 ? 引起俄歇電子發(fā)射的電子躍遷多種多樣，有 K系、 L系、M系等。 俄歇電子產(chǎn)額 ? 隨原子序數(shù)的變化見下圖 ? 通常 Z ? 14的元素，采用 KLL電子 ? 14 Z 42的元素 ，采用 LMM電子 ? Z ? 42的元素 ， 采用 MNN， MNO電子
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