【正文】 左右開始放電；改變輔助陰極(多陰極)的燈絲電流來控制放電狀態(tài)；燈絲處于基板四周，擴(kuò)大了陰極區(qū)、改善了繞射性，減少了高能離子對工件的轟擊作用.
活性反應(yīng)離子鍍：并用各種不同的放電方式使金屬蒸氣和反應(yīng)氣體的分子、原子激活、離化、使其活化，促進(jìn)其間的化學(xué)反應(yīng)，在基片表面就可以獲得化合物薄膜
特點(diǎn)：增加了反應(yīng)物的活性，在溫度較低的情況下就能獲得附著性能良好的碳化物、氮化物薄膜；可以在任何材料上制備薄膜，并可獲得多種化合物薄膜；淀積速率高；調(diào)節(jié)或改變蒸發(fā)速率及反應(yīng)氣體壓力可以十分方便地制取不同配比、不同結(jié)構(gòu)、不同性質(zhì)的同類化合物；由于采用了大功率、高功率密度的電子束蒸發(fā)源，幾乎可以蒸鍍所有金屬和化合物；清潔，無公害。設(shè)備簡單，技術(shù)容易實(shí)現(xiàn)，用普通真空鍍膜機(jī)就可以改裝，因此也具有一定實(shí)用價(jià)值。
成膜條件： n?nj
？
直流二極型離子鍍、三極和多陰極型離子鍍、活性反應(yīng)離子鍍膜、射頻離子鍍膜技術(shù)、
、三極和多陰極離子鍍、活性反應(yīng)離子鍍、射頻離子鍍的原理和特點(diǎn)？
直流二極型離子鍍是利用二極間的輝光放電產(chǎn)生離子、并由基板所加的負(fù)電壓對其加速。
缺點(diǎn)：（1）膜層的缺陷密度高（2）高能粒子轟擊基片溫度高，需要進(jìn)行冷卻。（3）繞射性能好。
第四章
？
優(yōu)點(diǎn)：（1）膜層的附著性好。
離子束濺射:離子源、屏蔽罩。 濺射產(chǎn)生的二次電子在陰極位降區(qū)內(nèi)被加速成為高能電子，但是它并不直接飛向陽極，而在電場和磁場的作用下作擺線運(yùn)動(dòng)。
磁控濺射：使用了磁控靶,施加磁場來改變電子的運(yùn)動(dòng)方向，束縛并延長電子運(yùn)動(dòng)軌跡，進(jìn)而提高電子對工作氣體的電離效率和濺射沉積率。
射頻濺射:可以用射頻輝光放電解釋。
三極或四極濺射:熱陰極發(fā)射的電子與陽極產(chǎn)生等離子體,，陽極上加正偏壓，20v左右。
？
,在離子能量達(dá)到一定程度后,由于離子注入效應(yīng),濺射率減??；；，不會發(fā)生濺射；
；，濺射原子角度分布不完全符合余弦定律，與入射離子方向有關(guān)；。
？
，足以產(chǎn)生碰撞電離；，降低了擊穿電壓；，所以電極可以是非金屬材料。 稱重法（微量天平法石英晶體振蕩法）電學(xué)方法（電阻法 電容法 電離式監(jiān)控記法）光學(xué)方法（光吸收法 光干涉法等厚干涉條紋法） 觸針法（差動(dòng)變壓器法阻抗放大法壓電元件法
第三章
？，尤其是高熔點(diǎn)、
，針孔少，
正常輝光放電：在一定電流密度范圍內(nèi)，放電電壓維持不變。
（4）是一個(gè)動(dòng)力學(xué)過程，它可以生長按照普通熱平衡生長方法難以生長的薄膜。）
？
（1）是以系統(tǒng)中的四級質(zhì)譜儀、原子吸收光譜等儀器,精密的監(jiān)測分子束的強(qiáng)度和種類,從而嚴(yán)格控制生長過程和生長速率
（2）膜的組分和摻雜濃度可隨源的變化迅速做出調(diào)整。
？如何控制合金薄膜的組分？
拉烏爾定律：在定溫下，在稀溶液中，溶劑的蒸氣壓等于純?nèi)軇┱魵鈮撼艘匀芤褐腥軇┑奈镔|(zhì)的量分?jǐn)?shù) 。
？
克克方程dp??dth?，可以知道飽和蒸氣壓和溫度的關(guān)系，對于薄膜的制作技術(shù)有重要實(shí)際意義, 幫助我們合理地選擇t(vg?vs)
蒸發(fā)材料和確定蒸發(fā)條件.
、溫度變化對其的影響？在蒸發(fā)源以上溫度蒸發(fā)，蒸發(fā)源溫度的微小變化即可以引起蒸發(fā)速率發(fā)生很大變化。
第五篇：薄膜物理與技術(shù)要點(diǎn)總結(jié)
最可幾速率:根據(jù)麥克斯韋速率分布規(guī)律,可以從理論上推得分子速率在vm處有極大值,vm稱為最可幾速率2kt?2rt?
?,vm速度分布平均速度:ktm?m?,分子運(yùn)動(dòng)平均距離 均方根速度:?：粗真空、低真空、高真空、超高真空。 一學(xué)期的工作即將結(jié)束，但對于我的職業(yè)生涯來說，今后要走的路還很長，要學(xué)習(xí)完善的地方還有很多。我們在評定時(shí)，組成評委會，評委會成員由大家信任的同學(xué)擔(dān)任，嚴(yán)格按照同學(xué)們的學(xué)習(xí)成績和各方面的表現(xiàn)來評定獎(jiǎng)助學(xué)金。
做好獎(jiǎng)助學(xué)金的評定工作
獎(jiǎng)學(xué)金是對學(xué)生的肯定和褒獎(jiǎng)，對學(xué)生意義重大。因此，我對評優(yōu)工作都給予了高度的重視，在嚴(yán)格按照學(xué)院有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行評比的同時(shí)，加大了評比標(biāo)準(zhǔn)的宣傳力度，讓所有同學(xué)都了解評比標(biāo)準(zhǔn)。
公開透明，做好各項(xiàng)評優(yōu)工作，讓所有學(xué)生滿意。
完善學(xué)生信息
在基本信息的基礎(chǔ)上，我按性別、班級、成績、獲獎(jiǎng)學(xué)金種類、生源地、是否是貧困生、是否是城鎮(zhèn)人口等標(biāo)準(zhǔn)將學(xué)生信息進(jìn)一步細(xì)化，做成新的信息登記表。
宿舍是學(xué)生在大學(xué)內(nèi)停留時(shí)間最長的地點(diǎn)之一，也是學(xué)生之間交流的場所，許多矛盾和問題也由此產(chǎn)生。
（六）日常管理工作
日常管理工作是輔導(dǎo)員工作的一個(gè)很重要的部分，只有將學(xué)生們的日常工作管理好，才能保證學(xué)生們的正常學(xué)習(xí)，也才能保證教學(xué)工作的正常開展。通過班會和主題教育活動(dòng)，進(jìn)行消防安全、交通安全、財(cái)產(chǎn)安全、人身安全等專門的教育。針對他們成績落后的原因，我多次找他們談心，幫他們樹立學(xué)習(xí)的目標(biāo)、建立學(xué)習(xí)的信心，消除其心理障礙與自卑感；抓住各種機(jī)會，激發(fā)他們的興趣；堅(jiān)持正面激勵(lì)為主,表揚(yáng)與批評合結(jié)合,做好后進(jìn)生的教育轉(zhuǎn)化工作。
關(guān)注班級后進(jìn)生，對他們進(jìn)行引導(dǎo)教育。為此，我利用班會給學(xué)生干部提出了更高的要求：在各個(gè)方面都要以身作則，率先垂范，爭當(dāng)楷模。這一學(xué)期來，他們總體上適應(yīng)了學(xué)生工作要求，心往一處想，勁往一處使，能夠帶領(lǐng)全班同學(xué)為建設(shè)良好的班風(fēng)學(xué)風(fēng)而努力。優(yōu)秀的學(xué)生干部是班主任的好幫手，同時(shí)也是引導(dǎo)班級工作走向成功的關(guān)鍵，在班級工作中，學(xué)生干部著實(shí)起到榜樣作用。在增強(qiáng)班級學(xué)風(fēng)的同時(shí)，讓學(xué)生意識到這些知識對于步入社會的必要性與重要性。作為學(xué)生，其主要任務(wù)就是學(xué)習(xí)。如臨時(shí)困難補(bǔ)助。
專項(xiàng)困難補(bǔ)助。學(xué)校努力為家庭經(jīng)濟(jì)困難學(xué)生拓展勤工助學(xué)渠道。保證了貧困生的正常學(xué)習(xí)和生活。今年我級已有26個(gè)同學(xué)成功辦理國家助學(xué)貸款加上去年的41個(gè)，已有67名同學(xué)成功辦理國家助學(xué)貸款。今年08級，有1名同學(xué)獲國家獎(jiǎng)學(xué)金，4名同學(xué)獲國家勵(lì)志獎(jiǎng)學(xué)金，2名同學(xué)獲省政府獎(jiǎng)學(xué)金，4名獲省勵(lì)志獎(jiǎng)學(xué)金，45名同學(xué)獲校級獎(jiǎng)學(xué)金，76名同學(xué)獲國家助學(xué)金。
國家獎(jiǎng)助學(xué)金。在檔案里如實(shí)記載了貧困生的個(gè)人情況和家庭經(jīng)濟(jì)情況。多年來，學(xué)院始終高度重視貧困生工作。
（三）健全貧困生資助體系，完善運(yùn)行機(jī)制
貧困生是物理學(xué)院學(xué)生中一個(gè)較大的群體，08級有220人，貧困生就有107人，占全集人數(shù)的49%。專家分析，人格偏執(zhí)的大學(xué)生往往對人持有偏見，把別人的各種態(tài)度都視為敵對行為；學(xué)業(yè)困難的同學(xué)雖然原因各異，但一般都會伴有逃避困難、焦慮、缺乏行動(dòng)力等問題；患有焦慮癥的同學(xué)往往會夸大事實(shí)，過分擔(dān)心將來的事情，覺得自己的身心會受到威脅；而患有抑郁癥的同學(xué)常常表現(xiàn)為對自己、對前途、對周圍世界抱有負(fù)面性認(rèn)識，自我輕賤；而有強(qiáng)迫思維特點(diǎn)的同學(xué)常常會對一切都不放心、總怕自己的行為不合適、窮思竭慮。學(xué)校和學(xué)院各個(gè)層面對學(xué)生的心理健康教育尤為關(guān)注。小而精的原則，根據(jù)學(xué)生不統(tǒng)一的時(shí)間安排，減少統(tǒng)一集體活動(dòng)的次數(shù)，減少理論和政策學(xué)習(xí)，而是把這些融入到大家普遍關(guān)注的問題上，比如今年云南的旱災(zāi)、玉樹的地震、上海世博會、大四學(xué)生的就業(yè)，考研人數(shù)的變化等，以一種現(xiàn)實(shí)靈活的方式達(dá)到教育的目的。我所帶的2020級是大二的學(xué)生，總體趨于穩(wěn)定，對于即將踏入社會的現(xiàn)實(shí)，很多人迷茫不知所措，他們更傾向于自己的實(shí)際問題比如考研、就業(yè)。大學(xué)時(shí)間相對充裕，學(xué)生們各方面的積極性都很高，他們需要一個(gè)舞臺來表現(xiàn)自己，展示自己。
二、主要工作情況
（一）做好學(xué)生的思想政治工作
高校是培養(yǎng)社會主義建設(shè)事業(yè)中堅(jiān)力量的教育基地。本級的學(xué)生分別屬于物理和材料兩個(gè)系的五個(gè)不同的專業(yè)，共220人。希望用美的陽光普照，用美的雨露滋潤，讓學(xué)生的心田綠草如茵，繁花似錦