【摘要】第八章:離子注入摻雜技術(shù)之二引言?離子注入的概念:離子注入是在高真空的復(fù)雜系統(tǒng)中,產(chǎn)生電離雜質(zhì)并形成高能量的離子束,入射到硅片靶中進(jìn)行摻雜的過程。束流、束斑?高能離子轟擊(氬離子為例)1.離子反射(能量很?。?.離子吸附(10eV)3.濺射(~5keV)
2025-05-10 08:07
【摘要】....離子注入技術(shù)摘要 離子注入技術(shù)是當(dāng)今半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行摻雜的最主要方法。本文從對(duì)該技術(shù)的基本原理、基本儀器結(jié)構(gòu)以及一些具體工藝等角度做了較為詳細(xì)的介紹,同時(shí)介紹了該技術(shù)的一些新的應(yīng)用領(lǐng)域。關(guān)鍵字 離子注入技術(shù) 半導(dǎo)體摻雜1緒論離子注入技術(shù)提出于上世
2025-07-20 01:32
【摘要】第七章工業(yè)微生物誘變育種第一節(jié)誘變育種的試驗(yàn)設(shè)計(jì)和準(zhǔn)備工作第二節(jié)誘變育種的步驟與方法第三節(jié)突變株的分離與篩選第四節(jié)營養(yǎng)缺陷型菌株的篩選第五節(jié)溫敏突變株的篩選第六節(jié)抗噬菌體菌株的選育概念:選用理、化致變劑處理均勻而分散的微生物細(xì)胞群,促使其突變率顯著提高;采用簡便、快速和高效的篩選法篩選出
2025-05-09 23:19
【摘要】第五章工業(yè)微生物育種誘變劑物理誘變劑5.2化學(xué)誘變劑5.3生物誘變劑通過人為的方法,利用物理、化學(xué)因素處理微生物以引起突變,這一過程稱為誘發(fā)突變。?誘發(fā)突變(inducedmutation)的發(fā)現(xiàn)?1927年,Muller用X射線誘發(fā)果蠅遺傳性狀變異。?在第二次世界大戰(zhàn)中,又發(fā)現(xiàn)化學(xué)物質(zhì)氮芥也能
2025-01-19 22:27
【摘要】第九章微生物引起食品腐敗變質(zhì)第一節(jié)食品腐敗變質(zhì)的鑒別第二節(jié)微生物引起食品變質(zhì)的條件(一)微生物(二)食品的基質(zhì)特性(三)食品的外界環(huán)境條件第九章微生物引起食品腐敗變質(zhì)一食品腐敗變質(zhì)食品受到外界有害因素的污染以后,食品原有色、香、味和營養(yǎng)成分發(fā)生了從量變到質(zhì)變的變化,結(jié)果
2024-08-18 06:24
【摘要】第11章微生物引起食品腐敗變質(zhì)第一節(jié)食品腐敗變質(zhì)的鑒別第二節(jié)微生物引起食品變質(zhì)的條件(一)微生物(二)食品的基質(zhì)特性(三)食品的外界環(huán)境條件第三節(jié)食品腐敗變質(zhì)的機(jī)理第四章微生物引起食品腐敗變質(zhì)一食品腐敗變質(zhì)食品受到外界有害因素的污染以后,食品原有色、香、味和營
2025-01-19 23:39
【摘要】離子注入各參數(shù)對(duì)注入結(jié)果的影響?半導(dǎo)體離子注入是半導(dǎo)體芯片IC生產(chǎn)過程中的重要的一個(gè)環(huán)節(jié),它的各個(gè)參數(shù)的調(diào)整直接影響產(chǎn)品質(zhì)量和成品率的高低。那么究竟哪些因素是我們平時(shí)工作中應(yīng)當(dāng)考慮的呢??束流強(qiáng)度的穩(wěn)定性和束能的穩(wěn)定性決定了束流品質(zhì)的好壞,一個(gè)穩(wěn)定的離子束通過平穩(wěn)聚焦與掃描在注入時(shí)間域里恒定注入襯底,讓襯底單位面積獲取趨于一致的劑量積分,從而實(shí)現(xiàn)
2025-01-17 18:03
【摘要】第七章離子注入(IonImplantation)離子注入概述?最早應(yīng)用于原子物理和核物理研究?提出于1950’s?1970’s中期引入半導(dǎo)體制造領(lǐng)域離子注入離子注入是另一種對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行摻雜的方法。將雜質(zhì)電離成離子并聚焦成離子束,在電場中加速而獲得極高的動(dòng)能后,注入到硅中(稱為“靶”)而實(shí)現(xiàn)摻
2025-01-20 19:21
【摘要】離子注入技術(shù)摘要 離子注入技術(shù)是當(dāng)今半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行摻雜的最主要方法。本文從對(duì)該技術(shù)的基本原理、基本儀器結(jié)構(gòu)以及一些具體工藝等角度做了較為詳細(xì)的介紹,同時(shí)介紹了該技術(shù)的一些新的應(yīng)用領(lǐng)域。關(guān)鍵字 離子注入技術(shù) 半導(dǎo)體摻雜1緒論離子注入技術(shù)提出于上世紀(jì)五十年代,剛提出時(shí)是應(yīng)用在原子物理和核物理究領(lǐng)域。后來,隨著工藝的成熟,在1970年左右,這種技術(shù)被引進(jìn)半導(dǎo)體
2025-07-20 01:37
【摘要】電子科技大學(xué)中山學(xué)院Chap4離子注入?核碰撞和電子碰撞?注入離子在無定形靶中的分布?注入損傷?熱退火電子科技大學(xué)中山學(xué)院離子注入?離子注入是一種將帶電的且具有能量的粒子注入襯底硅的過程,注入能量介于1KeV到1MeV之間,注入深度平均可達(dá)10nm~10um。離子劑量變動(dòng)范圍,從用于閾值電壓調(diào)
2025-05-08 18:30
【摘要】第五章工業(yè)微生物育種誘變劑本章內(nèi)容:化學(xué)誘變劑物理誘變劑生物誘變劑2?誘發(fā)突變(inducedmutation)的發(fā)現(xiàn)?1927年,Muller用X射線誘發(fā)果蠅遺傳性狀變異。?在第二次世界大戰(zhàn)中,又發(fā)現(xiàn)化學(xué)物質(zhì)氮芥也能導(dǎo)致細(xì)菌性狀變異,其效應(yīng)與X射線相類似。?陸續(xù)發(fā)現(xiàn)許多物理因子與化學(xué)物質(zhì)
2025-01-19 22:20
【摘要】植物天然產(chǎn)物在微生物體內(nèi)合成的代謝工程謝宏林10808072摘要?植物天然產(chǎn)物(NP)有重要的藥理活性。從植物中分離天然產(chǎn)物(NP)常常受限于低含量,環(huán)境,季節(jié)和區(qū)域差異,而全化學(xué)合成這類具有復(fù)
2025-07-25 20:26
【摘要】第四章:離子注入技術(shù)問題的提出:–短溝道的形成?–GaAs等化合物半導(dǎo)體?(低溫?fù)诫s)–低表面濃度?–淺結(jié)?–縱向均勻分布或可控分布?–大面積均勻摻雜?–高純或多離子摻雜?要求掌握:–基本工藝流程(原理和工藝控制參數(shù))–選擇性摻雜的掩蔽膜(Mask)–質(zhì)量控制和檢測
2025-02-22 08:10
【摘要】微生物引起的食品污染與腐敗變質(zhì)微生物引起的食品污染與腐敗變質(zhì)第六章微生物引起的食品污染與腐敗變質(zhì)微生物引起的食品污染與腐敗變質(zhì)食品中微生物的來源與控制食品腐敗與變質(zhì)不同食品的腐敗變質(zhì)食品中腐敗微生物的防治和食品保藏微生物引起的食品污染與腐敗變質(zhì)微生物引起的食品污染與腐敗變質(zhì)污染食品的微生物來源與途徑一方面微生物在自然界中分布十
2025-07-25 02:00
【摘要】第六章微生物引起的食物中毒第一節(jié)食物中毒概述一食物中毒二食物中毒的特點(diǎn)三常見食物中毒類型第二節(jié)細(xì)菌性食物中毒一沙門氏菌食物中毒二金黃色葡萄球菌食物中毒
2025-01-05 04:38