ecvd工藝培訓ppt課件-文庫吧資料
2025-01-16 15:32本頁面
【正文】 ，并及時清理碎片。 本規(guī)定適用于 C2 PECVD工序。在 Protocol中關注 deg of polarization（偏振角度）值要 大于 。 選擇預選設定的 針對太陽能電池的 Recipe，并點擊 “Measure” 按鈕后開始運行測量。 U型槽 U型槽 NH3入口 Si3H4入口 特氣管 石英管，及導電銅管 等離子源 U型槽截面圖 石墨載板 石英管 磁體 銅管 氨氣入口 高密度等離子區(qū) 硅烷入口 硅片 PECVD檢測 介紹 目前我們使用為 SENTECH的 SE 400adv PV 激光橢偏儀 測量： 對太陽能電池采用不同的測試樣品臺。 其物理性質和化學性質： 結構致密，硬度大 能抵御堿金屬離子的侵蝕 介電強度高 耐濕性好 耐一般的酸堿，除 HF和熱 H3PO4 SiNx的優(yōu)點：
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