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表面分析法ppt課件-文庫吧資料

2025-05-20 01:20本頁面
  

【正文】 是一種高靈敏超微量表面分析技術(shù)。而相鄰元素的同種譜線相隔較遠,相互干擾少,元素定性標識性強。 .電子能譜法的應(yīng)用 .電子能譜法的特點 1.可分析除 H和 He之外的所有元素;可以直接測定來自試樣單個能級光電發(fā)射電子的能量分布,且直接得到電子能級結(jié)構(gòu)的信息。 1. 半球形電子能量分析器 .單色器 — 電子能量分析器 2. 筒鏡電子能量分析器 .單色器 — 電子能量分析器 3. 檢測器 由于原子和分子的光電子截面都較小,因此從原子或分子產(chǎn)生并經(jīng)能量分析器出來的光電子流僅 1013 ? 1019A,要接受這樣弱的信號,必須采用電子倍增器,如單通道電子倍增器或多通道電子倍增器。 . 激發(fā)源 .單色器 — 電子能量分析器 電子能量分析器的分辨率定義為: (? E/EK) 100%, 表示分析器能夠區(qū)分兩種相近能量電子的能力。 . 電子能譜儀 電子能譜儀通常采用的激發(fā)源有三種: X射線源、真空紫外燈和電子槍。 固體物質(zhì)的 K LI LII Auger電子的能量應(yīng)為: . Auger電子能譜 1. Auger電子峰 Auger電子的能量只與所發(fā)生的 Auger躍遷過程有關(guān),因此它具有特征性,可據(jù)此進行定性分析。 因此,要在 X光電子能譜中識別 Auger電子峰,可變換 X射線源的能量, X光電子峰會發(fā)生移動,而Auger電子峰的位置不變。 ),可增大檢測體積,獲得較大的 Auger電流。通常采用較小的入射角 (10176。一般來說,當 Ein≈3 Ebi時, Auger電流較大。 . 俄歇電子能譜法 Auger電子能譜法 (AES)是用具有一定能量的電子束 (或 X射線 )激發(fā)試樣,以測量二次電子中的那些與入射電子能量無關(guān),而本身具有確定能量的 Auger電子峰為基礎(chǔ)的分析方法。 . 紫外光電子能譜法 由于紫外線的能量比 X射線能量低,只能激發(fā)原子或分子的價電子,因此,它所測定的是價電子的結(jié)合能,習(xí)慣上稱為電離能。 . 譜峰的物理位移和化學(xué)位移 由固體的熱效應(yīng)及表面荷電作用等物理因素引起的譜峰位移稱為物理位移。 固體試樣: . X射線光電子能譜圖 X射線光電子能譜圖是以檢測器單位時間內(nèi)接收到的光電子數(shù) (光電子強度 )對電子結(jié)合能或光電子動能作圖。 由于各種原子、分子的軌道電子結(jié)合能是一定的,XPS可用來測定
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