【課件】x射線光電子能譜分析方法及原理(xps)-(參考版)
2024-08-15 10:34本頁面
【正文】 。 ? 是一種高靈敏超微量表面分析技術(shù)，樣品分析的深度約為 20197。化學(xué)位移信息是利用 XPS進(jìn)行原子結(jié)構(gòu)分析和化學(xué)鍵研究的基礎(chǔ)。 ? 相鄰元素的同種能級(jí)的譜線相隔較遠(yuǎn)，相互干擾較少，元素定性的標(biāo)識(shí)性強(qiáng)。 ? 辨認(rèn) p、 d、 f自旋雙重線，核對(duì)所得結(jié)論。 ? 鑒別各種伴線所引起的伴峰。 ： 主要有以下幾種方法： ； ； ； ； ； 。 ：對(duì)不易溶于具有揮發(fā)性有機(jī)溶劑的樣品，可將其少量研壓在金箔上，使其成一薄層，再進(jìn)行測(cè)量。 其它方法： ：對(duì)疏松軟散的樣品可用此法。對(duì)于能耐高溫的樣品，可采用高真空下加熱的辦法除去樣品表面吸附物。對(duì)表理成分相同的樣品可用SiC(600)砂紙擦磨或小刀刮剝表面污層；對(duì)粉末樣品可采用研磨的方法。注意刻蝕可能會(huì)引起表面化學(xué)性質(zhì)的變化（如氧化還原反應(yīng)）。 2P1/2 2P3/2 105 95 電子結(jié)合能（ eV） Si 2p XPS的實(shí)驗(yàn)方法： ? 樣品的預(yù)處理 ： （對(duì)固體樣品） （萃?。┗蜷L(zhǎng)時(shí)間抽真空除表面污染物。 非彈性散射 AlKa1,2 AlKa3,4 動(dòng)能（ ev） 強(qiáng) 度 （ I） 結(jié)合能（ ev） 利用 XPS譜圖鑒定物質(zhì)成分： ? 利用某元素原子中電子的特征結(jié)合能來鑒別物質(zhì)。 ? 多重分裂峰： 多重分裂峰的相對(duì)強(qiáng)度等于終態(tài)的統(tǒng)計(jì)權(quán)重。 振激峰也是出現(xiàn)在其低能端，比主峰 高幾 ev，并且一條光電子峰可能有幾 條振激伴線。 。 其過程為： A+hν (A+)*+e(光電子 ) A++ hν’(X熒光 ) A2++e(俄歇電子 ) 兩者只能選擇其一 （原子序數(shù) Z30的元素以發(fā)射俄歇電子為主） 俄歇電子產(chǎn)生過程圖解： hv(Xray熒光 ) 俄歇電子 e Energy 處于激發(fā)態(tài)離子 產(chǎn)生 Xray熒光過程 處于激發(fā)態(tài)離子 產(chǎn)生俄歇電子的過程 XPS譜圖中伴峰的鑒別： （在 XPS中化學(xué)位移比較小，一般只有幾 ev，要想對(duì)
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