【課件】x射線光電子能譜分析方法及原理(xps)-(已修改)
2025-08-16 10:34 本頁面
【正文】 X— 射線光電子能譜 ( Xray Photoelectron Spectroscopy ) ? XPS 的發(fā)展 ? 基本概念 ? XPS 的工作流程及原理 ? XPS譜線中伴峰的來源 ? XPS譜圖中伴峰的鑒別 ? 利用 XPS譜圖鑒別物質(zhì) ? XPS的實(shí)驗(yàn)方法 ? XPS譜圖的解釋步驟 ? XPS 的特點(diǎn) 主要內(nèi)容： XPS 的發(fā)展： ? XPS理論首先是由瑞典皇家科學(xué)院院士、烏普薩拉大學(xué)物理研究所所長 KSiebahn 教授創(chuàng)立的。 原名為化學(xué)分析電子能譜 : ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)。 ? 1954年研制成世界上第一臺雙聚焦磁場式光電子能譜儀。 ? XPS是一種對固體表面進(jìn)行定性、定量分析和結(jié)構(gòu)鑒定的實(shí)用性很強(qiáng)的表面分析方法。 ? 現(xiàn)今世界上關(guān)于 XPS的刊物主要有： Journal of Electron Spectroscopy. Related Phenomena. 基本概念： ? 光電子能譜 : 反應(yīng)了原子（或離子）在入射粒子（一般為 Xray）作用下發(fā)射出來的電子的能量、強(qiáng)度、角分布等信息。 ? Xray: 原子外層電子從 L層躍遷到 K層產(chǎn)生的射線。 常見的 X射線激發(fā)源有： Mg :Ka1,2(1254ev,線寬 ) Al :Ka1,2(1487ev ,線寬 ) Cu :Ka1,2(8048ev,線寬 ) Ti :Ka1,2(4511ev,線寬 ) ? 電子結(jié)合能： 由光電過程的 Einstein方程： hν=Eb+1/2mv2 ， 求出 ： Eb= hνEk。 引入 Fermi能級后，光電過程的能量關(guān)系如圖所示： 由圖可知： Eb=hν ф? Ek’ 而 Ek’+ ф?＝ Ek+ ф?p 知 Eb＝ hν Ek ф?p ( ф?p
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