silvacotcad工藝仿真(參考版)
2025-05-10 18:13本頁面
【正文】 然后 EditAdd 即彈出優(yōu)化目標(biāo)（ Tox）的面板，將 目標(biāo)設(shè)置設(shè)置為 2022 優(yōu)化進(jìn)行時(shí) 17:14 30 Silvaco學(xué)習(xí) 當(dāng)待優(yōu)化的參數(shù)，優(yōu)化的目標(biāo)設(shè)置好后，在 OptimizerMode 框中選擇 Results，然后點(diǎn)右側(cè)的 Optimizer即可開始優(yōu)化。 17:14 20 Silvaco學(xué)習(xí) 自動(dòng)得到抽取語句 17:14 Silvaco學(xué)習(xí) 21 抽取氧化層厚度 17:14 Silvaco學(xué)習(xí) 22 go athena Line x loc= spac= Line x loc= spac= Line y loc= spac= Line y loc= spac= init Diffuse time=30 temp=1200 dryo2 extract name=“Tox” thickness \ oxide =1 =0 tonyplot 在菜單欄中自動(dòng)生成抽取命令 時(shí)得到的語句： EXTRACT init infile=AIa02224 EXTRACT extract name=Tox thickness oxide =1 =0 WARNING: specified cutline may give inaccurate values resulting from proximity to structure edge, (min=0, max=1) Tox= angstroms ( um) =0 EXTRACT quit 輸出窗口顯示的結(jié)果： 注意警告信息 結(jié)構(gòu)操作 ? 命令 structure ? 可以保存和導(dǎo)入結(jié)構(gòu)，對(duì)結(jié)構(gòu)做鏡像或翻轉(zhuǎn) ? 參數(shù)：infile,outfile,mirror [left|right|top|bottom] ? 在仿真到一定步驟時(shí)可適當(dāng)保存結(jié)構(gòu) 17:14 23 Silvaco學(xué)習(xí) go athena Line x loc= spac= Line x loc= spac= Line y loc= spac= Line y loc= spac= init Diffuse time=30 temp=1200 dryo2 structure outfile= extract name=Tox thickness \ oxide =1 tonyplot Tonyplot顯示 ? Tonyplot可以顯示仿真得到的結(jié)構(gòu)和數(shù)據(jù) ? 工具多（ cutline,ruler,probe,movie? ） ? 使用靈活（ set,方便的 Display（ 2D Mesh）） ? 可以導(dǎo)出數(shù)據(jù) 17:14 24 Silvaco學(xué)習(xí) 怎樣組織工藝仿真？ 建立仿真網(wǎng)格 仿真初始
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