silvacotcad工藝仿真-資料下載頁
2025-05-07 18:13本頁面
【正文】 工藝仿真流程： 17:14 25 Silvaco學(xué)習(xí) 工藝優(yōu)化 ? 尋找合適的工藝參數(shù) —— 工藝優(yōu)化 ? 工藝優(yōu)化工具 Optimizer ? 啟動方式： CommandOptimizer? ? 可以對多個參數(shù)同時優(yōu)化 ? 優(yōu)化不限于工藝 17:14 26 Silvaco學(xué)習(xí) 優(yōu)化設(shè)置 17:14 27 Silvaco學(xué)習(xí) 優(yōu)化設(shè)置界面， 誤差范圍，尋找次數(shù) 待優(yōu)化的參數(shù)選擇 17:14 28 Silvaco學(xué)習(xí) go athena Line x loc= spac= Line x loc= spac= Line y loc= spac= Line y loc= spac= init Diffuse time=30 temp=1200 dryo2 extract name=Tox thickness oxide \ =1 =0 tonyplot 框住待優(yōu)化的工藝（此處是 diffuse） 參數(shù)那一行，在 OptimizerMode 框中選擇 Parameter。然后 EditAdd, 即彈出參數(shù)選擇面板 可改變參數(shù)掃描范圍 優(yōu)化目標(biāo)設(shè)置 17:14 29 Silvaco學(xué)習(xí) go athena Line x loc= spac= Line x loc= spac= Line y loc= spac= Line y loc= spac= init Diffuse time=30 temp=1200 dryo2 extract name=Tox thickness oxide \ =1 =0 tonyplot quit 框住待優(yōu)化的目標(biāo)（通常是 extract） 那一行，在 OptimizerMode框中選 擇 Targets。然后 EditAdd 即彈出優(yōu)化目標(biāo)（ Tox）的面板，將 目標(biāo)設(shè)置設(shè)置為 2022 優(yōu)化進(jìn)行時 17:14 30 Silvaco學(xué)習(xí) 當(dāng)待優(yōu)化的參數(shù)，優(yōu)化的目標(biāo)設(shè)置好后，在 OptimizerMode 框中選擇 Results，然后點右側(cè)的 Optimizer即可開始優(yōu)化。 本講回顧 ? 工藝仿真流程 建立仿真網(wǎng)格，仿真初始化，工藝步驟，抽取特性，結(jié)構(gòu)操作， Tonyplot顯示 ? 優(yōu)化 優(yōu)化設(shè)置，待優(yōu)化參數(shù)選擇，優(yōu)化目標(biāo) ? 工藝步驟 氧化（ diffuse） 17:14 31 Silvaco學(xué)習(xí) 下一講的安排 ? 主要介紹具體的工藝步驟（開枝散葉） ? 可能較多地關(guān)注刻蝕，光刻 ? 工藝仿真的答疑釋惑 17:14 32 Silvaco學(xué)習(xí) 謝謝！ 17:14 33 Silvaco學(xué)習(xí) 交流時間 17:14 34 Silvaco學(xué)習(xí)
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