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silvacotcad工藝仿真-展示頁

2025-05-16 18:13本頁面
  

【正文】 態(tài)增強(qiáng)的擴(kuò)散,氧化 /硅化加強(qiáng)的擴(kuò)散,瞬態(tài)激活作用,點缺陷和簇群構(gòu)造以及材料界面的再結(jié)合,雜質(zhì)分離,和傳輸 ? 精確地對幾何刻蝕和共形淀積,以及個別結(jié)構(gòu)和網(wǎng)格處理技術(shù)建模,用以允許進(jìn)行多器件幾何結(jié)構(gòu)的模擬和分析。 ? 可用于模擬 離子注入,擴(kuò)散,刻蝕,淀積,以及半導(dǎo)體材質(zhì)的氧化 。Silvaco TCAD 工藝仿真(一) Tang shaohua, SCU 17:14 1 Silvaco學(xué)習(xí) EMail: ATHENA工藝仿真軟件 ? ATHENA 能幫助工藝開發(fā)工程師開發(fā)和優(yōu)化半導(dǎo)體制造工藝。 ? ATHENA提供一個易于使用,模塊化的,可擴(kuò)展的平臺。它通過模擬取代了耗費成本的硅片實驗,可縮短開發(fā)周期和提高成品率。 17:14 6 Silvaco學(xué)習(xí) ATHENA工藝仿真軟件 ? 通過 MaskViews 的掩模構(gòu)造說明,工程師可以有效地分析在每個工藝步驟和最終器件結(jié)構(gòu)上的掩模版圖變動的影響。 ? 與 ATLAS 器件模擬軟件無縫集成 17:14 7 Silvaco學(xué)習(xí) 可仿真的工藝 ( Features and Capabilities) ? Bake ? CMP ? Deposition ? Development ? Diffusion ? Epitaxy ? Etch ? Exposure ? Imaging ? Implantation ? Oxidation ? Silicidation 具體 描述請參見手冊中 Features and Capabilities 17:14 8 Silvaco學(xué)習(xí) ATHENA 的輸入和輸出 工藝步驟 GDS版圖 掩膜層 一維和二維結(jié)構(gòu) Etest數(shù)據(jù) (Vt)分析 電阻和 CV分析 涂層和刻蝕外形 輸出結(jié)構(gòu)到 ATLAS 材料厚度,結(jié)深 CD外形,開口槽 ATHENA 工藝模擬軟件 17:14 9 Silvaco學(xué)習(xí) 工藝仿真流程 ? 建立仿真網(wǎng)格 ? 仿真初始化 ? 工藝步驟 ? 抽取特性 ? 結(jié)構(gòu)操作 ? Tonyplot顯示 17:14 10 Silvaco學(xué)習(xí) 定義網(wǎng)格 ? 網(wǎng)格定義對仿真至關(guān)重要 ? 定義方式 : 網(wǎng)格間距會根據(jù) loc和 Spac自動調(diào)整 X y 0 x1 x2 s1 s2 y1 y2 s3 s4 17:14 11 Silvaco學(xué)習(xí) line x location=x1 spacing=s1 line x location=x2 spacing=s2
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