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mems基本結(jié)構(gòu)ppt課件(參考版)

2025-05-08 18:19本頁(yè)面
  

【正文】 ? EMAIL: ? Deadline: 2022年 4月 20日 。 ? 讀懂制作過(guò)程,寫(xiě)出工藝報(bào)告。 MEMS工藝專題作業(yè) ? 2022年后 參考文獻(xiàn)上查找某種 MEMS器件的制作工藝,要求所用 工藝環(huán)節(jié)不少于 5種 。 光敏聚酰亞胺基本性能 表 4 . 2 P S P I 的主要機(jī)械性能熱延展率 面內(nèi) ? 106/℃面外 5 0 ~ 2 5 0 ? 106/℃泊松比 面內(nèi) 035面外 0 . 1 ~ 0 . 4 5楊氏模量 7 . 5 ~ 1 5 G P a剪切模量 1 ~ 1 0 G P a
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