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微電子學(xué)概論ch4集成電路制造工藝雙極集成電路工藝(參考版)

2025-05-17 02:13本頁面
  

【正文】 下一頁 上一頁 集成電路制造工藝 —— 雙極集成電路制造工藝 下一頁 上一頁 上一次課的主要內(nèi)容 ? CMOS集成電路工藝流程 N型 (100)襯底的原始硅片 NMOS結(jié)構(gòu) PMOS結(jié)構(gòu) P阱 (well) 隔離 閾值調(diào)整注入 柵氧化層和多晶硅柵 NMOS管源漏注入 PMOS管源漏注入 接觸和互連 LOCOS隔離 開槽回填隔離 下一頁 上一頁 下一頁 上一頁 ? 制作埋層(減小集電極串聯(lián)電阻)
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