其他的顯微分析方法(參考版)
2025-05-16 07:36本頁(yè)面
【正文】 XPS的絕對(duì)靈敏度很高 ， 是一種超微量分析技術(shù) ，分析時(shí)所需樣品很少 ， 一般 10的－ 8次方克左右即可 ， 因此 XPS是薄膜材料最有效的分析手段之一 。 它可以用于區(qū)分非金屬原子的化學(xué)狀態(tài)和金屬的氧化狀態(tài) ， 所以又叫做 “ 化學(xué)分析光電子能譜法 （ ESCA， Electron Spectroscopy for Chemical Analysis） 。 到數(shù)百個(gè) 197。所以在原子力顯微鏡中也利用斥力與吸引力的方式發(fā)展出兩種操作模式： （ 1）利用原子斥力的變化而產(chǎn)生表面輪廓為接觸式原子力顯微鏡（ contact AFM ），探針與試片的距離約數(shù)個(gè) 197。若以能量的角度來(lái)看，這種原子與原子之間的距離與彼此之間能量的大小也可從 Lennard –Jones 的公式中到另一種印證。 ? 原子力顯微鏡（ AFM）與掃描隧道顯微鏡（ STM）最大的差別在于并非利用電子隧道效應(yīng)，而是利用原子之間的范德華力（ Van Der Waals Force）作用來(lái)呈現(xiàn)樣品的表面特性。 分辨率 工作環(huán)境 樣品環(huán)境溫度 對(duì)樣品破壞程度 檢測(cè)深度 STM 原子級(jí) （垂直 ） （橫向 ） 實(shí)環(huán)境、 大氣、溶液、真空 室溫 或低溫 無(wú) 1~2原子層 TEM 點(diǎn)分辨 （ ~） 晶格分辨 （ ~） 高 真 空 室溫 小 接近掃描電鏡，但實(shí)際上為樣品厚度所限，一般小于 100nm SEM 6~10nm 高 真 空
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