機(jī)械設(shè)計(jì)制造及其自動(dòng)化專業(yè)畢業(yè)設(shè)計(jì)(論文)外文資料翻譯-wenkub.com
2025-05-30 18:14 本頁(yè)面
【正文】 它的主要研究是先進(jìn)工藝控制。 李曉平，生于 1966 年，目前是中國(guó)華中科技大學(xué)科學(xué)與技術(shù)學(xué)院教授。它用于光學(xué)領(lǐng)域生產(chǎn) 100nm 工具。很明顯新的方法大大的增 加了收斂率，精確性和抗干擾能力。圖 9（ c）顯示了溫度收斂比圖 9（ b）快 ，但 PL 內(nèi)溫度的精確度并沒(méi)有得到很大的提高。 實(shí)驗(yàn)結(jié)果如圖 9所示。 TCU配置了 的精確度。隔熱室模仿光刻表面隔離熱的作用。根據(jù)輸入數(shù)據(jù)控制器可以靈活的選擇任何一種算法。 控制算法可以被描述如下： 其中 i=1， 2， j=1， 2， 是基本不相關(guān)的增加的 PI控制算法： 其中， 代表比例系數(shù)， 代表積分系數(shù)， 代表取樣結(jié)果， 和 分別代表在 k1 和 k 時(shí)刻的控制輸出， e（ k1）和 e（ k）分別代表（ k1）和 k時(shí)刻的信號(hào)偏差。高級(jí)算法決定從我們先前介紹的五個(gè)階段中選擇 [10]。 PL 里的溫度偏差 和結(jié)合處冷卻水的溫度偏差 都是控制器的輸入端。這種結(jié)構(gòu)也控制器設(shè)計(jì)的困難。代表輔助環(huán)測(cè)量裝置的傳遞函數(shù)， 代表結(jié)合處冷卻水的輸入溫度，代表結(jié)合處冷卻水的輸出溫度。他們之間的不同是擾動(dòng)必須是可測(cè)量的前饋結(jié)構(gòu)，而 PCCS可應(yīng)用于不可測(cè)量的擾動(dòng)?？刂骗h(huán) 是一個(gè)快速控制環(huán)，它過(guò)去一直快速的預(yù)測(cè)結(jié)合處的冷卻水最佳溫度值。 副控制對(duì)象的輸出不是主控制對(duì)象的輸入。這個(gè)圖省略了操作系統(tǒng) ，在系統(tǒng)的框中確定了主要組成環(huán)。在定態(tài)的狀態(tài)之下，由于 的作用， 當(dāng)瞬時(shí)溫度變動(dòng)超過(guò) 冷卻水溫度 ℃時(shí)， PL 里的溫度變動(dòng)超過(guò) 1℃。因此，主回路的輸入輸出函數(shù)可表示如下： 在此 早期的研究表明， PL的時(shí)間常數(shù)約為 4h。 Gm(s) Gm(s)表示主控制回路傳遞函數(shù)， Gs(s)表示二次控制回路傳遞函數(shù)。二次回路 具有很強(qiáng)的抗內(nèi)部干擾的能力。 PL 內(nèi)部溫度期望設(shè)定值通過(guò)一臺(tái)機(jī)器連續(xù)地給出。 TCU 水箱中的冷卻水溫度控制 (Tw)形成了第二條回路 . 分析這個(gè)系統(tǒng)的運(yùn)作質(zhì)量是很容易。 3 多閉環(huán)控制 結(jié)構(gòu) 多閉環(huán)溫度控制結(jié)構(gòu)由一個(gè)內(nèi)部 CCS 和一個(gè)外部 PCCS 組成。 此外， PL 的 復(fù)雜結(jié)構(gòu)導(dǎo)致不平衡熱交換，而由于 其體積大導(dǎo)致慣性在和小體積物體相比時(shí)，溫度波動(dòng)較小。至于激光，它的散熱量大概是 15W。干擾 多 ，包括冷卻水 溫度波動(dòng) ， PL內(nèi)部熱量散失 ， PL和外部 介質(zhì)之間的熱交換 。 循環(huán)系統(tǒng) 回收冷卻水 ， 節(jié)省最大能量 ， 是 很必要的。 TCU 和光刻工具放置在不同的潔凈室，如圖 1所示 。 不同于傳統(tǒng) 的 直接加熱和冷卻控制對(duì)象 的方法 ，它 借助于冷卻水和冷卻套間的熱交換使 PL 內(nèi)部溫度恒定。 第二部分 是一個(gè) 多 閉環(huán)回路 溫度控制結(jié)構(gòu) 的分析。但 是 上述使用方法，很難實(shí)現(xiàn) PL內(nèi)部溫度 控制的 高精確度和 快 收斂 率 。 著名的經(jīng)典 方法之一是被 廣泛應(yīng)用于 簡(jiǎn)單或低精度 溫度控制 系統(tǒng)的 單閉環(huán)回路控制 結(jié)構(gòu) 【 3】 。另外 需要 PL 內(nèi)部溫度 收斂 率 快 以降低光刻技術(shù)的所有權(quán)（ CoD） 的成本 . 然而，實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo) 是 一個(gè)很 大的挑戰(zhàn)，因?yàn)榧訜崞骱屠鋮s器 控制溫度 要求操作遠(yuǎn) 離 PL[2], 否則其性能 將被它們的 振動(dòng)和污染 所破壞 。 關(guān)鍵詞： 投影鏡頭，遠(yuǎn)程間接溫度 串級(jí)控制結(jié)構(gòu)，并行串 連 控制結(jié)構(gòu) ，非線性比例積分（ PI）的算法 1 簡(jiǎn) 介 由于集成電路縮小，更小的臨界尺寸（ CD）要求，生產(chǎn) 過(guò)程 的控制越來(lái)越嚴(yán)格。 一
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