真空與真空鍍膜技術簡介-wenkub.com
2025-05-07 00:44 本頁面
【正文】 L基片到蒸發(fā)源的距離，分子作 直線運動。 ? 真空蒸發(fā) ：在真空中把制作薄膜的材料加熱蒸發(fā)，使其 淀積在適當?shù)谋砻嫔稀? 熱陰極電離真空計 原理 ：電子與氣體分子碰撞引起分子電離，形成電子和正離，電子最終被加速極收集，正離子被收集極接收形成離子流： I+ = kIep = cp 其中， k稱為電離計的靈敏度，是單位電子電流、單位壓強下的離子流。 ? 缺點：由于高速旋轉，不能在磁場中使用，否則會產(chǎn)生渦流，導致葉輪發(fā)熱、變形等嚴重后果，對氫氣等輕質氣體抽速較小， 價格昂貴。 旋片式機械泵 2. 油擴散泵 ? 是：油蒸發(fā) — 噴射 — 凝結，重復循環(huán) ? 由于射流具有工作過程高流速 (約 200米 /秒 )、高密度、高分子量(300— 500)，故能有效地帶走氣體分子。 PQ?S1PPtVS????? 極限壓強 (極限真空 ) ? 最高工作壓強 ? 工作壓強范圍 （ ） 泵能正常工作的壓強范圍 ? 幾種常用真空泵的工作壓強范圍 旋片機械泵 吸附泵 擴散泵 渦輪分子泵 濺射離子泵 低溫泵 upmpmu pp ?pa25 1010 ??pa25 1010 ??pa50 1010 ??pa81 1010 ??pa111 1010 ?? ?pa100 1010 ?? 幾種常用真空泵的工作原理 1. 旋片機械泵 ? 工作過程是： 吸氣 — 壓縮 — 排氣。 真空泵的分類 氣體傳輸泵 : 是一種能將氣體不斷地吸入并排出泵外
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鄂ICP備17016276號-1