【導(dǎo)讀】近年來(lái)，隨著晶體管器件精細(xì)化、小型化的高速發(fā)展，高K材料的。提出和開發(fā)成為了新的研究熱點(diǎn)。求高的介電常數(shù)外，對(duì)柵介質(zhì)薄膜界面的質(zhì)量要求非常高。晶粒尺寸及晶界均會(huì)。對(duì)薄膜介電常數(shù)及漏電流大小產(chǎn)生影響。結(jié)構(gòu)及介電、漏電性能的影響。以氧化鋁薄膜為介電層，摻雜銦稼的氧化鋅為半。操作電壓可降低至3V，場(chǎng)遷移率可達(dá)。cm2V-1s-1，開關(guān)比達(dá)到×104。高介電常數(shù)材料在晶體管中的應(yīng)用...........錯(cuò)誤!

　　

【正文】 進(jìn)行。 圖 37 以 Al2O3 為柵介質(zhì)層的 晶體管 器件結(jié)構(gòu) 我們采用 Keithley 2400 數(shù)字源表，用 Keithley 2400 可實(shí)現(xiàn)在一定的柵極電壓下，場(chǎng)效應(yīng)晶體管 ISDVSD 曲線的自動(dòng)測(cè)量。通過測(cè)量不同柵壓下的 ISDVSD曲線，可獲得一組場(chǎng)效應(yīng)晶體管的輸入輸出特性圖，同樣的道理，我們也可以實(shí)現(xiàn)場(chǎng)效應(yīng)晶體管轉(zhuǎn)移特性曲線的記錄．從場(chǎng)效應(yīng)晶體管的輸入輸出特性特性曲線簇以及場(chǎng)效應(yīng)晶體管轉(zhuǎn)移特性曲線可以得到我們想要得到的關(guān)鍵參量：遷移率、閾值電壓、開關(guān)比等。 晶體管 的輸入輸出曲線：固定柵電壓，測(cè)試源漏電流隨源漏電壓的變化關(guān)系 。晶體管 的轉(zhuǎn)移特性曲線：固定源漏電壓，測(cè)試源漏電流隨柵極偏壓的變化關(guān)系。 晶體管 器件的輸出特性曲線和轉(zhuǎn)移特性曲線見圖 38。柵壓 (VG) 測(cè)試范圍為 3 到 6 V，且每隔 1 V 測(cè)試一組數(shù)據(jù)，所有器件都有典型的 N 型 晶體管 特性。在轉(zhuǎn)移特性曲線中， VDS恒為 3 V。 Al2O3 IGZO 硅基底 (柵極 ) Al Al 山東大學(xué)畢業(yè)論文 26 圖 38 光波處理氧化鋁晶體管 輸出特性曲線和轉(zhuǎn)移特性曲線 山東大學(xué)畢業(yè)論文 27 從圖 38 中可以明顯看出，當(dāng)源漏電壓較小時(shí)，器件工作在線性區(qū)；當(dāng)源漏電壓增加到接近柵極電壓后，源漏電流趨于恒定，器件工作在飽和區(qū)。 電學(xué)性能參數(shù)匯總見表 31。 表 31 光波處理氧化鋁晶體管 器件的電學(xué)性能 薄膜處理 單位面積電容 (nF/cm2 ) 載流子遷移率 (cm2/Vs) 開關(guān)比 閾值電壓 (V) 光波處理 140 104 第 四 章 結(jié)論 本論文主要研究了在低溫條件下通過溶膠 凝膠法制備的高 K 材料氧化鋁在不同退火（紫外照輻，光波處理）條件下薄膜的生長(zhǎng)情況和電學(xué)特性的差異以及在薄膜晶體管中的應(yīng)用 。通過 SEM 對(duì)薄膜的形貌、粗糙度等進(jìn)行了檢測(cè)分析，對(duì)制備得到的低操作電壓場(chǎng)效應(yīng)晶體管的測(cè)試分析，可以得出以下結(jié)論： (220 ℃ ) 制備了高 K 介電薄膜，通過旋涂后進(jìn)行的紫外照射退火處理，可以更好的使 薄膜均勻平滑，無(wú)明顯缺陷，成膜質(zhì)量良好 ，在 涂膜 5層時(shí) ， 膜厚 100nm，外加電壓 3V時(shí)，獲得漏電流均在 106A/cm2 的數(shù)量級(jí)，單位 面積電容達(dá)到 170nF/cm2。 ，可以得到致密均勻的薄膜。 樣品的單位面積電容可達(dá) nF/cm2，漏電流約為 106A/cm2 ，可以滿足薄膜晶體管介電材料的使用要求。 山東大學(xué)畢業(yè)論文 28 IGZO 薄膜制備的效應(yīng)晶體管操作電壓可降低至 3 V，場(chǎng)遷移率可達(dá) ，開關(guān)比達(dá)到 104。 致謝 衷心感謝我的導(dǎo)師王素梅副教授，在我進(jìn)行畢業(yè)設(shè)計(jì)期間，無(wú)論從篩選題目、實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)還是論文的批閱修訂等方面都耗費(fèi)了王老師大量的心血。平日里與老師探討學(xué)術(shù)問題，交流實(shí)驗(yàn)經(jīng)驗(yàn)，都讓我獲得了廣博的學(xué)科知識(shí)，收獲了寶貴的人生經(jīng)驗(yàn)，增長(zhǎng)了豐富的人生閱歷。老師寬闊的胸懷、高尚的人格、開闊的視野、淵博的學(xué)識(shí)、嚴(yán)謹(jǐn)?shù)闹螌W(xué)態(tài)度，都令我獲益匪淺。 同時(shí)也要感謝無(wú)機(jī)所的各位老師在大學(xué)四年中對(duì)我的幫助和教導(dǎo)，老師們的治學(xué)態(tài)度將令我終身難忘，老師們的諄諄教誨必將指導(dǎo)我日后兢兢業(yè)業(yè)、勤勤懇懇地工作，我將時(shí)時(shí)刻刻銘記自己曾經(jīng)是一名山東大學(xué)無(wú)機(jī) 非金屬材料工程專業(yè)的學(xué)生。 也要感謝張倩學(xué)姐、 呂媛媛 等同組同學(xué)在實(shí)驗(yàn)過程中對(duì)我的指導(dǎo)和幫助，謝謝你們！ 最后，謹(jǐn)向所有關(guān)心和幫助過我的老師和同學(xué)們致以最崇高的敬意和最誠(chéng)摯的感謝！ 山東大學(xué)畢業(yè)論文 29 參考文獻(xiàn) [1] 馮翔 . 溶液法制備薄膜晶體管及其圖案化與性能研究 [D]. 合肥：合肥工業(yè)大學(xué) , 20xx,97100. 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