天水華天半導體公司上芯工序5s操作規(guī)范-資料下載頁
2025-07-13 16:33本頁面
【導讀】一層并掛上標識牌；車邊緣（安全）；規(guī)范放置在氮氣柜中。先出的原則從左向右取用。置在對應氮氣柜中；
【正文】 5 框架的取用規(guī)范 先出的原則從左向右取用。 八 領班工作桌 物料放置 規(guī)范 序號 圖片 說明 備注 1 領班工作桌 。 2 首尾蘭膜放置規(guī)范 卡 、晶圓上芯統(tǒng)計記錄、晶圓管制卡對著整齊的放置在蘭膜的上面。 九 氮氣柜 中蘭膜的 放置 規(guī)范 序號 圖片 說明 備注 1 蘭膜氮氣柜 置在對應氮氣柜中； 2 氮氣柜中記錄及蘭膜規(guī)范 規(guī)范； 氮氣柜中蘭膜放置規(guī)范 十 設備上記錄的放置 規(guī)范 序號 圖片 說明 備注 1 設備前面記錄放置規(guī)范 和晶圓管制卡；右面放置設備運行記錄； 2 設備上面記錄放置規(guī)范 《晶圓上芯統(tǒng)計記錄》； 十一 產(chǎn)品傳遞規(guī)范 序號 圖片 說明 備注 1 產(chǎn)品的傳遞規(guī)范 手抓住傳遞框，平行傳送； 2 傳遞車的傳送規(guī)范 手平行推送 制造部上芯工序
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