半導(dǎo)體化學(xué)-資料下載頁(yè)
2025-08-01 17:58本頁(yè)面
【正文】 ） 涂光刻膠 （ 2）曝光 （ 3）顯影與后烘 Lattice Power (Jiangxi) Corporation ?涂光刻膠 首先使用 旋涂技術(shù) 對(duì)晶圓 涂光刻膠 。 光刻膠一般有 兩種： 正性 （ Positive） 光刻膠 負(fù)性 （ Negative） 光刻膠 Lattice Power (Jiangxi) Corporation ?正性和負(fù)性光刻膠 正性光刻膠 受光或紫外線(xiàn)照射后 感光的部分發(fā)生光分解反應(yīng) ， 可溶于顯影液 ， 未感光的部分顯影后仍然留在晶圓的表面 ， 它一般適合做長(zhǎng)條形狀； 負(fù)性光刻膠 的 未感光部分溶于顯影液中 ， 而感光部分顯影后仍然留在基片表面 ， 它一般適合做窗口結(jié)構(gòu) ， 如接觸孔 、 焊盤(pán)等 。 光刻膠對(duì)大部分可見(jiàn)光敏感 ， 對(duì)黃光不敏感 。 因此光刻通常在 黃光室 （ Yellow Room） 內(nèi)進(jìn)行 。 Lattice Power (Jiangxi) Corporation ?曝光 將光刻掩模覆蓋在涂有光刻膠的硅片上，光刻掩模相當(dāng)于照相底片 ，一定波長(zhǎng)的光線(xiàn)通過(guò)這個(gè) “ 底片 ” ， 使光刻膠獲得與掩模圖形同樣的感光圖形 Lattice Power (Jiangxi) Corporation ?顯影與后烘 在曝光之后進(jìn)行 顯影、定影、堅(jiān)膜 等步驟，在光刻膠膜上有的區(qū)域被溶解掉，有的區(qū)域保留下來(lái)，形成了 版圖圖形 Lattice Power (Jiangxi) Corporation 光刻工藝圖示 涂光刻膠 曝光 顯影與后烘 腐蝕 腐蝕 Lattice Power (Jiangxi) Corporation ?工藝過(guò)程中的安全 實(shí)驗(yàn)室對(duì)人體有害的化學(xué)品： A一般危害化學(xué)品：硫酸、雙氧水、醋酸、硝酸、鹽酸 B危害大的化學(xué)品：氫氟酸、氟化胺。 一般危害品的防護(hù)：帶一次性手套、帶眼罩 危害大的化學(xué)品防護(hù)：帶面具，防護(hù)服等。 一些細(xì)節(jié)問(wèn)題：瓶子怎么處理、化學(xué)品的存放等。 Lattice Power (Jiangxi) Corporation 謝謝！
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