【正文】
高功能晶片的試制開發(fā)進(jìn)入批量生產(chǎn)階段;硅片生產(chǎn)企業(yè)增加300 mm硅片設(shè)備的投資;針對設(shè)計規(guī)則的進(jìn)一步細(xì)化,開發(fā)高平坦度的硅片和無缺陷的硅片.[1]朱黎輝 中國半導(dǎo)體硅(多晶、單晶)材料發(fā)展60年[期刊論文]新材料產(chǎn)業(yè) 2009(12)[2]靳曉宇 半導(dǎo)體材料的應(yīng)用與發(fā)展研究[期刊論文]大眾商務(wù)(投資版) 2009(6)[3] Xingzhang 國內(nèi)外硅半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀及發(fā)展[期刊論文]上海有色金屬 2013(3)[4]劉秋娣;林安中;林喜斌 多晶硅錠的制備及其形貌組織的研究[期刊論文]稀有金屬 2002,26(6)[5]BUONASSISI T。ISTRATOV A A。PICKETT M D Transition metals in photovoltaicgrade ingotcast multicrystalline silicon:Assessing the role of impurities in silicon nitride crucible lining material[外文期刊]2006(02)[6][期刊論文]光源與照明 2010(1)[7]MOLLERT H J。FUNKE C。RINIO M。et a1.Muhicrystallinesilicon for solar cells[J].Thin Solid Films,2005,487(12):17一187.[8] Ying 單晶硅生長原理及工藝[期刊論文]長春理工大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版) 2009(4)[9] Hengzhi 太陽能電池用硅材料的研究現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢[期刊論文]特種鑄造及有色合金2008(12)[10]趙美紅 硅納米材料的制備及其光學(xué)特性研究[學(xué)位論文]碩士 2007[11].SEUNG Y M。KOBSAK S。YASUTOSHI Y Siliconbased thinfilm solar cells fabricated near the phase boundary by VHF PECVD technique 2008(06