現(xiàn)代真空獲得設(shè)備-資料下載頁
2025-01-25 13:08本頁面
【正文】 技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 真空獲得設(shè)備 圖 14－ 10 典型低溫泵的布置 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 真空獲得設(shè)備 1－致冷膨脹機(jī)； 2－一級冷頭； 3－二級冷頭； 4－氣、電接頭； 5－ H2蒸汽溫度計； 6－排水口； 7－百葉窗式入口障板； 8－熱板； 9－冷板（三個）； 10－壓力安全閥； 11－排氣口； 12－清洗口 圖 14－ 11 一種窄泵結(jié)構(gòu) 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 真空獲得設(shè)備 圖 14－ 12 ＣＲＹＯ－Ｕ 12Ｈ型低溫泵結(jié)構(gòu) 十、濺射離子泵 濺射離子泵又稱潘寧泵，它是一種使用較廣泛的清潔真空泵。其優(yōu)點(diǎn)是無油、無振動、無噪音；使用簡單可靠，壽命長，可烘烤；不需要冷劑，置放方向不限；工作壓力范圍寬（ 1～ 1010Pa）， 對惰性氣體抽速大。缺點(diǎn)是帶有笨重的磁鐵，體積和重量較大，成本高；對有機(jī)蒸汽污染敏感，連續(xù)抽 30min油蒸汽就會使泵啟動困難；在抽惰性氣體時，二級泵會出現(xiàn)氬不穩(wěn)定性。 這種泵被廣泛的應(yīng)用于現(xiàn)代尖端技術(shù)的一些領(lǐng)域中，如原子能工程、核工業(yè)、高能加速器、宇宙模擬、表面物理、電子工業(yè)和高純金屬的冶煉等領(lǐng)域。 概述 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 真空獲得設(shè)備 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 真空獲得設(shè)備 圖 15－ 1 濺射離子泵結(jié)構(gòu) 1－陰極板； 2－磁場方向； 3－陽極； 4－電源 濺射離子泵的工作原理 濺射離子泵的結(jié)構(gòu) 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 真空獲得設(shè)備 圖 15－ 2 泵內(nèi)的物理過程 泵內(nèi)的物理過程 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 真空獲得設(shè)備 圖 15－ 3濺射離子泵抽氣機(jī)理示意圖 十一、其他類型真空泵 分子篩吸附泵 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 真空獲得設(shè)備 圖 16－ 3 內(nèi)冷式吸附泵結(jié)構(gòu)示意圖 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 真空獲得設(shè)備 圖 16－ 4 外冷式吸附泵結(jié)構(gòu)示意圖 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 真空獲得設(shè)備 鈦升華泵和其他真空泵相比，有如下優(yōu)點(diǎn)： 1）抽速大。新鮮鈦膜在液氮溫度下，對氮的抽速可達(dá) (cm2*s),對氫的抽速可達(dá) (cm2*s)。2） 極限真空度高?？蛇_(dá) 10－ 10Pa。 3） 在超高真空下，泵的抽速隨著壓力的降低而增大，這時泵的抽速主要受泵口流導(dǎo)的限制。 4）可獲得“清潔”的真空。 5）結(jié)構(gòu)簡單，運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用低。其主要缺點(diǎn)是對惰性氣體的抽速小，因此常與其他類型泵搭配使用。 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 真空獲得設(shè)備 1－吸氣面； 2－熱絲；3－控制器； ●－升華出來的鈦； ○－活性氣體 圖 16－ 5鈦升華泵的工作原理 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 真空獲得設(shè)備 電離升華泵又稱軌旋式離子泵。它結(jié)構(gòu)簡單，體積小，重量輕，造價低，制造方便。它既有鈦升華泵的特點(diǎn)，能使鈦加熱到 1200℃ 而升華，來抽除活性氣體，又有濺射離子泵的特點(diǎn)，對惰性氣體電離抽氣，且不用磁場而獲得高效率抽氣作用。其有效工作范圍寬，大約在 10－ 2～ 10－ 9Pa，在超高真空區(qū)域內(nèi)保持恒定的抽速。 這種泵的缺點(diǎn)是電離抽氣與鈦損耗之間有矛盾，欲提高惰性氣體的抽速，勢必加高陽極電壓，提高發(fā)射電流，因此鈦的損耗增大，泵的壽命縮短；欲增加儲鈦量延長泵的壽命，陽極要變粗，電子的軌道變短，電離抽速下降。這種泵的直徑 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 真空獲得設(shè)備 該泵結(jié)構(gòu)簡單，體積小，造價低，造作安全可靠，維修方便，清潔無油。對活性氣體尤其是對氫具有很高的抽氣能力。但不能抽除惰性氣體。此外還有一種鋯釩鐵合金材料作為吸氣劑的活化溫度 450℃ ，室溫下對活性氣體具有較大抽速。 鋯鋁泵對氫及其同位素氘、氚的吸氣是可逆的，而對其他活性氣體的吸氣是以穩(wěn)定的化合物擴(kuò)散到吸氣劑體內(nèi)，但存在飽和壽命問題。 越大，所需陽極電壓越高，上萬伏電壓對生產(chǎn)不安全，電子轟擊陽極會產(chǎn)生有害于人體的 X射線，不適于做大泵。 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 真空獲得設(shè)備 這種泵可用在受控裝置中儲存和釋放 H2及其同位素氘、氚；在高能加速器的真空系統(tǒng)中與分子泵或?yàn)R射離子泵同時工作，能提高系統(tǒng)的極限真空；還可用來運(yùn)轉(zhuǎn) H2及其同位素；用在超高真空裝置時，連同裝置一起放進(jìn)烘烤裝置中，不用外加電源便可作烘烤時的維持泵使用；也可用于濺射離子泵的啟動。 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 真空獲得設(shè)備 1－泵殼； 2－泵芯； 3－加熱器； 4－電極； 5－真空規(guī)； 6－熱電偶； 7－氣體分析器接頭 圖 16－ 13 鋯鋁泵結(jié)構(gòu) 演講完畢，謝謝觀看！
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