現(xiàn)代真空獲得設(shè)備-展示頁
2025-01-31 13:08本頁面
【正文】 壓縮的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菔秸婵毡?。新型的三腔滑閥泵的出現(xiàn)，較好地解決了滑閥泵地質(zhì)量平衡，使泵的振動得到了有效的控制，泵轉(zhuǎn)速也可相應(yīng)得到提高。做好滑閥泵的 質(zhì)量平衡，減少泵的振動一直是滑閥泵需要解決的一個(gè)重要課題。 由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大的偏心，如果沒有很好的質(zhì)量平衡，在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)會產(chǎn)生較大的振動。單級泵的極限壓力對小泵 ≤， 對大泵 ≤（ 均關(guān)氣鎮(zhèn)），雙級泵的極限壓力 ≤（ 關(guān)氣鎮(zhèn)）。 滑閥泵由于其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，容量比旋片泵大得多，因此常常用在大型真空設(shè)備上。 圖 4－ 7 氣鎮(zhèn)閥結(jié)構(gòu) 真空獲得設(shè)備 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 1－調(diào)節(jié)閥； 2氣鎮(zhèn)閥座； 3－密封墊； 4－擋塊； 5－鋼球； 6－彈簧 圖 4－ 7 氣鎮(zhèn)閥結(jié)構(gòu) BACK 五、滑閥式油封機(jī)械泵 概述 滑閥式油封機(jī)械泵（簡稱滑閥泵）同旋片泵一樣，也是一種變?nèi)菔綒怏w傳輸泵?！? 100176。在低壓時(shí)，適當(dāng)打開氣鎮(zhèn)閥，摻如少量氣體，可以減少泵油沖擊排氣閥引起的噪聲。）時(shí)，露出氣鎮(zhèn)孔，開始摻氣。氣鎮(zhèn)孔的位置設(shè)置一般有兩種：一種是在泵排氣口附近，當(dāng)壓縮腔與排氣口相通時(shí)，開始摻氣；另一種是設(shè)置于端蓋上，當(dāng)吸氣終了以后，轉(zhuǎn)子再轉(zhuǎn)過一個(gè)角度（ 10176。 氣鎮(zhèn)閥是旋片泵為抽除可凝性氣體而設(shè)置的。氣鎮(zhèn)法或稱摻氣法可以有效地防止可凝性氣體的凝結(jié)，即在壓縮過程中將經(jīng)過控制的永久性氣體 （通常為室溫干燥空氣）由氣鎮(zhèn)孔摻入被壓縮氣體中，使可凝性氣體分壓達(dá)到排氣壓力，排氣閥打開，將可凝性氣體同永久氣體一同排出。在壓縮和排氣的過程中，當(dāng)可凝性氣體的分壓超過泵溫時(shí)該氣體飽和蒸汽壓時(shí)，可凝性氣體會凝結(jié)并混于泵油中，隨泵油循環(huán)，并在返回高真空側(cè)時(shí)重新蒸發(fā)成蒸汽。隨著入口壓力的降低，輔助排氣閥逐漸減小，直至最后關(guān)閉。在雙級泵中，當(dāng)高真空級與低真空級為不等腔時(shí)，需要在兩級之間設(shè)置中間排氣閥，如圖 4－ 6所示。在排氣過程中，壓縮氣體推開排氣閥片，穿過泵油排出。排氣閥有兩種形式：一種使用相交墊片做閥片；另一種是用布質(zhì)酚醛層壓板或彈簧鋼片做閥片。小泵和直聯(lián)泵多采用這種結(jié)構(gòu)。一般大泵多采用這種結(jié)構(gòu)形式。 旋片泵工作原理圖 真空獲得設(shè)備 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 1－泵體； 2－旋片； 3－轉(zhuǎn)子； 4－彈簧； 5－排氣閥 真空獲得設(shè)備 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 旋片泵工作原理圖 BACK 1－濾網(wǎng)； 2－進(jìn)氣管； 3－壓板； 4－排氣閥； 5－旋片； 6－彈簧； 7－轉(zhuǎn)子； 8－放油螺塞； 9－油標(biāo)； 10－排氣孔； 11－皮帶輪； 12－軸端密封圈； 13－氣道 真空獲得設(shè)備 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 圖 4－ 2 2X型旋片泵結(jié)構(gòu)簡圖 BACK 旋片泵在結(jié)構(gòu)上可分為油封式和油浸式兩大類。若轉(zhuǎn)子按圖中箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí)， A空間容積增加，壓力降低，氣體經(jīng)泵入口被吸入，此時(shí)處于吸氣過程； B空間的容積減小，壓力增加，處于壓縮過程； C空間的容積進(jìn)一步縮小，壓力進(jìn)一步增加，當(dāng)壓力超過排氣壓力時(shí)，壓縮氣體推開泵油密封的排氣閥，處于向大氣的排氣過程。 旋片泵不適于抽除含氧過高、有爆炸性的、對金屬有腐蝕性的、與泵油會發(fā)生化學(xué)發(fā)應(yīng)的、含有顆粒塵埃的氣體。 可以單獨(dú)使用，也可以作為其他高真空泵的前級泵，用以抽除密封容器中的干燥氣體。 圖 2－ 3 水環(huán)泵的結(jié)構(gòu)圖 真空獲得設(shè)備 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 BACK 內(nèi)部進(jìn)氣口和排氣口的改進(jìn) ( * 最重要的改進(jìn) ) 錐體泵：采用上部進(jìn)氣和下部排氣的結(jié)構(gòu) 四、旋片式真空泵 概述 真空獲得設(shè)備 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 旋片式油封機(jī)械泵（旋片泵）為一種變?nèi)菔綒怏w傳輸真空泵，是真空技術(shù)中最基本的真空獲得設(shè)備之一。 3）雙級液環(huán)泵：由單級單作用泵串聯(lián)而成。 2）單級雙作用液環(huán)泵：單級葉輪每旋轉(zhuǎn)一周，吸氣、排氣各進(jìn)行兩次。 圖 2－ 1 液環(huán)泵工作原理圖 真空獲得設(shè)備 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 液環(huán)泵的基本類型與結(jié)構(gòu) 液環(huán)泵的基本類型與結(jié)構(gòu) 1）單級單作用液環(huán)泵 :單級葉輪每旋轉(zhuǎn)一周，吸氣排氣各進(jìn)行一次。 圖 2－ 1 液環(huán)泵工作原理圖 能量轉(zhuǎn)換 2 后 180176。 水從葉輪獲得能量 （ 動能 ） ， 被加速 。 真空獲得設(shè)備 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 表 1－ 1 各種真空 泵的工作壓 力范圍 真空泵在真空系統(tǒng)中的作用 1 主泵 2 粗抽泵 3 3 前級泵 4 維持泵 5 5 增壓泵 具體見抽氣系統(tǒng)流程圖 真空獲得設(shè)備 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 主泵 真空容器 儲氣罐 前級泵（粗抽泵） 維持泵 增壓泵
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