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2025-02-26 13:08本頁面
【正文】 高真空抽氣系統(tǒng)原理流程圖 二、液環(huán)式真空泵 真空獲得設備 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 （ a） 單作用式液環(huán)泵 （ b） 雙作用式液環(huán)泵 A－ 吸氣口； B－ 排氣口； C－ 間隙； 單作用液環(huán)泵 抽氣（ 能量轉(zhuǎn)換） 過程： 真空獲得設備 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 前 180176。 真空獲得設備 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 一、引論 真空泵的技術術語和適用范圍術語： 啟動壓力；前級壓力；最大前級壓力； 最大工作壓力；壓縮比；何式系數(shù)；抽氣系數(shù)；返流率；水蒸氣允許量；最大允許水蒸氣入口壓力。真空獲得設備 主講人：張以忱 東北大學 真空獲得設備 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空 ： 在給定的空間內(nèi)，氣體分子密度低于一個標準大氣壓的氣體狀態(tài)。 真空泵性能的表示方法： 1）極限壓力 2）抽氣速率 3）流量 真空泵的分類： 1）氣體輸送泵 （ 1）變?nèi)莘e真空泵：液、油封式機械泵，干式真空泵，羅茨真空泵； （ 2）動量傳輸式真空泵（分子真空泵，噴射真空泵，擴散泵）。 各種真空泵工作壓力范圍 真空獲得設備 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 2）氣體捕集泵：吸附泵；低溫泵。 ：小腔容積由小 → 大 ， 壓力降低 ， 與吸氣口相通 ， 吸氣； 吸氣終了時 ， 小腔與吸氣口隔絕 ， 且應盡量保證此時小腔容積為最大 。 水甩出后具有與葉片端點切線速度相近的速度；而且在前半周 ， 由于吸入的氣體壓力基本穩(wěn)定 ， 因此 ，水環(huán)各點速度近似相等 。 ：小腔容積由大 → 小 ， 壓縮氣體 ，直到小腔與排氣口相通 ， 排氣； 水的速度下降 ， 將動能轉(zhuǎn)變成壓力能 （ 勢能 ） ， 來抵抗由于小腔容積變小而導致的氣體壓力增加 。抽氣效率較低。抽氣效率較高。 4）氣體噴射泵＋液環(huán)泵機組：可以提高低壓下的抽速，擴大了液環(huán)泵的使用范圍。其工作壓力范圍為 101325～ 10－ 2 Pa， 屬于低真空泵。若附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除一定量的可凝氣體。 旋片把轉(zhuǎn)子、泵體、端蓋形成的月牙形空間分隔成 A、 B、 C三部分。在泵的連續(xù)運轉(zhuǎn)過程中，不斷進行吸氣、壓縮和排氣過程，從而達到連續(xù)抽氣的目的。油封式結構是指油箱設置在泵體上，泵油起到密封排氣閥的作用，泵體靠水冷或風冷。油浸式結構是將整個泵體浸在泵油中，泵油起到密封和冷卻作用。 旋片泵結構簡圖 真空獲得設備 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 Ⅰ －高真空級； Ⅱ －低真空級； 1－中間輔助排氣閥； 2－通道； 3－低真空級排氣閥； 圖 4－ 6 雙級泵結構示意圖 BACK 真空獲得設備 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 排氣閥是旋片泵主要易損件之一，將影響泵的抽氣性能并產(chǎn)生噪音。排氣閥必須浸在泵油中。泵油起到密封作用。輔助排氣閥的作用是在入口壓力較高、經(jīng)高真空壓縮的氣體已到排氣壓力時，輔助排氣閥打開，部分氣體由輔助排氣閥排出，部分氣體由低真空級抽走。 圖 4－ 6 雙級泵結構示意圖 真空獲得設備 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 通常，泵抽除的氣體為永久性氣體和可凝性氣體的混合物。這將影響到泵的抽氣性能，加重泵油的污染程度。油封式機械真空泵普遍裝有氣鎮(zhèn)裝置，因此也叫氣鎮(zhèn)泵。 真空獲得設備 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 氣鎮(zhèn)閥（摻氣閥）是由節(jié)流閥和逆止閥兩部分組成，節(jié)流閥控制摻入氣體量，逆止閥防止泵腔內(nèi)氣體壓力高于摻氣壓力時出現(xiàn)返流?！? 15176。再摻氣過程中，泵的極限壓力上升和抽氣速率下降。高速直聯(lián)泵溫度（ 90176。）下運行，有利于可凝性氣體的抽出。其應用范圍和使用條件與旋片泵基本相同?；y泵有單級和雙級兩種形式。抽速大于 150L/s的滑閥泵多采用單級型式。但泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)心的運動軌跡是形狀復雜 真空獲得設備 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 的封閉曲線，因此很難實現(xiàn)對滑閥泵慣性力的完全平衡。滑閥泵的振動限制了泵的轉(zhuǎn)速的提高，泵轉(zhuǎn)速一般在 350～ 3600r/min， 個別的也有達1000r/min以上的。 真空獲得設備 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 滑閥泵的工作原理和結構特點 真空獲得設備 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 1－泵蓋； 2－氣鎮(zhèn)量調(diào)節(jié)閥； 3－導管； 4－逆止閥； 5－油氣分離器 結構特點 圖 5－ 2 滑閥泵結構圖 真空獲得設備 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 目前滑閥泵有三種結構形式： （ a） 滑閥桿鉸接在滑閥環(huán)上；
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