現(xiàn)代真空獲得設備(參考版)
2025-01-27 13:08本頁面
【正文】 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 1－泵殼； 2－泵芯； 3－加熱器； 4－電極； 5－真空規(guī)； 6－熱電偶； 7－氣體分析器接頭 圖 16－ 13 鋯鋁泵結構 演講完畢，謝謝觀看！ 。 越大，所需陽極電壓越高，上萬伏電壓對生產(chǎn)不安全，電子轟擊陽極會產(chǎn)生有害于人體的 X射線，不適于做大泵。此外還有一種鋯釩鐵合金材料作為吸氣劑的活化溫度 450℃ ，室溫下對活性氣體具有較大抽速。對活性氣體尤其是對氫具有很高的抽氣能力。 這種泵的缺點是電離抽氣與鈦損耗之間有矛盾，欲提高惰性氣體的抽速，勢必加高陽極電壓，提高發(fā)射電流，因此鈦的損耗增大，泵的壽命縮短；欲增加儲鈦量延長泵的壽命，陽極要變粗，電子的軌道變短，電離抽速下降。它既有鈦升華泵的特點，能使鈦加熱到 1200℃ 而升華，來抽除活性氣體，又有濺射離子泵的特點，對惰性氣體電離抽氣，且不用磁場而獲得高效率抽氣作用。 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 1－吸氣面； 2－熱絲；3－控制器； ●－升華出來的鈦； ○－活性氣體 圖 16－ 5鈦升華泵的工作原理 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 電離升華泵又稱軌旋式離子泵。 5）結構簡單，運轉費用低。 3） 在超高真空下，泵的抽速隨著壓力的降低而增大，這時泵的抽速主要受泵口流導的限制。2） 極限真空度高。 概述 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 圖 15－ 1 濺射離子泵結構 1－陰極板； 2－磁場方向； 3－陽極； 4－電源 濺射離子泵的工作原理 濺射離子泵的結構 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 圖 15－ 2 泵內(nèi)的物理過程 泵內(nèi)的物理過程 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 圖 15－ 3濺射離子泵抽氣機理示意圖 十一、其他類型真空泵 分子篩吸附泵 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 圖 16－ 3 內(nèi)冷式吸附泵結構示意圖 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 圖 16－ 4 外冷式吸附泵結構示意圖 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 鈦升華泵和其他真空泵相比，有如下優(yōu)點： 1）抽速大。缺點是帶有笨重的磁鐵，體積和重量較大，成本高；對有機蒸汽污染敏感，連續(xù)抽 30min油蒸汽就會使泵啟動困難；在抽惰性氣體時，二級泵會出現(xiàn)氬不穩(wěn)定性。 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 圖 14－ 2 低溫冷凝泵 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 圖 14－ 3普通低溫泵 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 圖 14－ 4 連續(xù)流動式低溫泵 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 圖 14－ 5 小型制冷機低溫泵 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 圖 14－ 10 典型低溫泵的布置 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 1－致冷膨脹機； 2－一級冷頭； 3－二級冷頭； 4－氣、電接頭； 5－ H2蒸汽溫度計； 6－排水口； 7－百葉窗式入口障板； 8－熱板； 9－冷板（三個）； 10－壓力安全閥； 11－排氣口； 12－清洗口 圖 14－ 11 一種窄泵結構 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 圖 14－ 12 ＣＲＹＯ－Ｕ 12Ｈ型低溫泵結構 十、濺射離子泵 濺射離子泵又稱潘寧泵，它是一種使用較廣泛的清潔真空泵。 低溫泵的抽氣原理和分類 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 關于低溫抽氣機理，有許多不同的看法，大致可歸納為兩種：一種是按速度分布決定捕獲率的說法，它認為飛到冷表面的氣體分子中，僅僅是能量低于某一臨界值的分子才被捕獲；另一種是動態(tài)平衡學說，它認為飛到冷表面的氣體分子停留在冷表面上，同時有另外一些分子從表面蒸發(fā)，離開表面，被捕捉和離開表面的分子之差就是抽氣速度。 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 關于低溫抽氣機理，有許多不同的看法，大致可歸納為兩種：一種是按速度分布決定捕獲率的說法，它認為飛到冷表面的氣體分子中，僅僅是能量低于某一臨界值的分子才被捕獲；另一種是動態(tài)平衡學說，它認為飛到冷表面的氣體分子停留在冷表面上，同時有另外一些分子從表面蒸發(fā)，離開表面，被捕捉和離開表面的分子
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