微機(jī)械陀螺簡述,微慣性技術(shù)-資料下載頁
2025-01-01 04:37本頁面
【正文】 氣 100μV/186。/s / 芬蘭 赫爾辛基工業(yè)大學(xué) 框架式 角振動 電容檢測 信噪比 德國 Bosch公司 雙質(zhì)量塊 電磁驅(qū)動 電容檢測 18mV/?/s 量程為 100186。/s 國外微機(jī)械陀螺的特點與性能指標(biāo) 15 1 / /h Hz?LOGO ? 北京大學(xué)、清華大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)，中科院上海微系統(tǒng)所 LOGO 單位 結(jié)構(gòu)特點 檢測機(jī)理 靈敏度 噪聲 /漂移 北大 諧振式 電容檢測 22mv/176。 /s 清華 角振動 電容檢測 176。 /s / 復(fù)旦 雙質(zhì)量塊 電容驅(qū)動 壓阻檢測 電橋輸出176。 /s / 中科院 雙質(zhì)量塊 電磁驅(qū)動 電容檢測 176。 /s 中北大學(xué) 諧振式 電容檢測 176。 /s 國內(nèi)微機(jī)械陀螺的特點與性能指標(biāo) 72 / /h Hz?67 / /h Hz?LOGO 從國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀來看，微機(jī)械陀螺的特點總結(jié)如下： 機(jī)械結(jié)構(gòu)：圓環(huán)、獨立梁、框架、雙質(zhì)量塊 驅(qū)動方式：電容驅(qū)動的多 檢測方式：電容檢測的多 使用的材料：都是 Si基，靈敏度 mV級 LOGO 微機(jī)械陀螺應(yīng)用 微機(jī)械陀螺目前精度在 102176。/h左右 ， 還將進(jìn)一步提高到 103 176。/h。 隨著先進(jìn)的微電子技術(shù)的發(fā)展 ， 預(yù)計微機(jī)械陀螺的價格將會在一美元到幾百美元之間 。 其低廉的價格使其具有廣闊的應(yīng)用前景 ， 有望在一些新的領(lǐng)域中得到應(yīng)用 ， 如車載導(dǎo)航系統(tǒng) 、 天文望遠(yuǎn)鏡 、 工業(yè)機(jī)器人 、計算機(jī)鼠標(biāo) ， 甚至是玩具上 。 LOGO 智能手機(jī)中 汽車中 空中無線鼠標(biāo)中 數(shù)碼相機(jī)中 智能機(jī)器人中 應(yīng)用舉例 LOGO 應(yīng)用前景展望 在 MEMS中還存在著大量具有挑戰(zhàn)性的力 、 磁 、電等問題需要研究 , 對這些問題的有效解決則將會加快推動微機(jī)械陀螺儀技術(shù)的發(fā)展 應(yīng)用比重增大 仍然面臨挑戰(zhàn) 過去幾十年內(nèi) ， 在汽車工業(yè)需求的推動下 , 微陀螺技術(shù)取得了長足進(jìn)展 ， 隨著對傳感器小型化 、 集成化的應(yīng)用需求 ， 其在應(yīng)用領(lǐng)域中的比重將會不斷增大 。 LOGO LOGO 表面工藝制作的微結(jié)構(gòu) 體硅工藝制作的微結(jié)構(gòu) LOGO 壓電驅(qū)動 靜電驅(qū)動電容檢測 電磁驅(qū)動壓阻檢測 隧道效應(yīng)檢測 LOGO 謝謝觀看 /歡迎下載 BY FAITH I MEAN A VISION OF GOOD ONE CHERISHES AND THE ENTHUSIASM THAT PUSHES ONE TO SEEK ITS FULFILLMENT REGARDLESS OF OBSTACLES. BY FAITH I BY FAITH
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