微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)-資料下載頁(yè)
2025-01-01 04:37本頁(yè)面
【正文】 伸縮材料 材料在磁場(chǎng)作用下，其長(zhǎng)度或形狀發(fā)生伸長(zhǎng)或縮短的現(xiàn)象，具有較大磁致伸縮應(yīng)變的材料稱為超磁致伸縮材料。超磁致伸縮材料可承受比壓電陶瓷高一個(gè)數(shù)量級(jí)的應(yīng)變，制成的超高精密致動(dòng)器具有高的精度和大的輸出力。三、微細(xì)加工技術(shù) 微細(xì)加工 （ Microfabrication）起源于半導(dǎo)體制造工藝，原來(lái)指加工尺度約在微米級(jí)范圍的加工方式。 在微機(jī)械研究領(lǐng)域中，它是微米級(jí)，亞微米級(jí)乃至毫微米級(jí)微細(xì)加工的通稱。 微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù) 可以進(jìn)一步分為微米級(jí)微細(xì)加工(Microfabrication)，亞微米級(jí)微細(xì)加工 (Submicrofabrication)和納米級(jí)微細(xì)加工 (Nanofabrication)等。 廣義上的微細(xì)加工，其方式十分豐富，幾乎涉及了各種現(xiàn)代特種加工、高能束等加工方式。 微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù) 從基本加工類(lèi)型看，微細(xì)加工可大致分四類(lèi) : 分離加工 —— 將材料的某一部分分離出去的加工方式，如分解、蒸發(fā)、濺射、破碎等； 接合加工 —— 同種或不同材料的附和加工或相互結(jié)合加工，如蒸鍍、淀積、摻入、生長(zhǎng)、粘結(jié)等； 微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù) 變形加工 —— 使材料形狀發(fā)生改變的加工方式，如塑性變形加工、流體變形加工等； 材料處理或改性，如一些熱處理或表面改性等。 微機(jī)械及其微細(xì)技術(shù)加工 微機(jī)械領(lǐng)域的重要角色不僅僅是微電子部分，更重要的是微機(jī)械結(jié)構(gòu)或構(gòu)件及其與微電子等的集成。所以微機(jī)械微細(xì)加工并不僅限于微電子制造技術(shù)，更重要的是指微機(jī)械構(gòu)件的加工或微機(jī)械與微電子、微光學(xué)等的集成結(jié)構(gòu)的制作技術(shù)。 微機(jī)械及其微細(xì)技術(shù)加工 目前，微機(jī)械微細(xì)加工常用的有光刻制版、高能束刻蝕、 LIGA、準(zhǔn) LIGA等方法。圖 719是通過(guò)三維微細(xì)加工得到的埃菲爾鐵塔的微模型。 圖 719 微細(xì)加工得到的鐵塔微模型 微機(jī)械及其微細(xì)技術(shù)加工 微機(jī)械的微細(xì)加工技術(shù)（ Micromachining technology ）有以下特點(diǎn)：⑴ 從加工對(duì)象上看，微細(xì)加工不但加工尺度極小，而且被加工對(duì)象的整體尺寸也很微?。?微機(jī)械及其微細(xì)技術(shù)加工⑵ 由于微機(jī)械對(duì)象的微小性和脆弱性，僅僅依靠控制和重復(fù)宏觀的加工相對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡達(dá)到加工目的，已經(jīng)很不現(xiàn)實(shí)。必須針對(duì)不同對(duì)象和加工要求，具體考慮不同的加工方法和手段；⑶ 微細(xì)加工在加工目的、加工設(shè)備、制造環(huán)境、材料選擇與處理、測(cè)量方法和儀器等方面都有其特殊要求。 微機(jī)械及其微細(xì)技術(shù)加工謝謝觀看 /歡迎下載BY FAITH I MEAN A VISION OF GOOD ONE CHERISHES AND THE ENTHUSIASM THAT PUSHES ONE TO SEEK ITS FULFILLMENT REGARDLESS OF OBSTACLES. BY FAITH I BY FAIT
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