微機械及其微細(xì)加工技術(shù)(完整版)
【正文】 起源于半導(dǎo)體 IC加工工藝的硅微細(xì)加工、微細(xì)電火花加工等特種精密加工、 LIGA技術(shù)、微組裝技術(shù)等。許多微傳感器、微執(zhí)行器以及微光學(xué)部件已經(jīng)在某些行業(yè)得到應(yīng)用。，制造成本低廉。 微機械及其微細(xì)加工技術(shù)微機械具有以下幾個基本特點： (特征尺寸范圍為 lnm～ 10mm) ，精度高，重量輕， 慣性小 。 微機械及其微細(xì)加工技術(shù)? 在歐洲則稱作 Micro System（ 微系統(tǒng) ） 是指具有微米級結(jié)構(gòu)，可以批量制作的、集微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、甚至外圍接口、通信電路和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。一、 引言 隨著 微／納米 科學(xué)與技術(shù) (Micro/Nano Science and Technology)的發(fā)展，以本身形狀尺寸微小或操作尺度極小為特征的微機械已成為人們在微觀領(lǐng)域認(rèn)識和改造客觀世界的一種高新技術(shù)。? 在日本稱作 Micro Machine（ 微機器 ） 微機器由只有幾毫米大小的功能元件組成，它能夠執(zhí)行復(fù)雜、細(xì)微的任務(wù)。，可靠性高。 微機械及其微細(xì)加工技術(shù)具有以下一般機械所不能及的優(yōu)勢：、操作對象和工作環(huán)境上。 微機械及其微細(xì)加工技術(shù) 微機械及其微細(xì)加工技術(shù)目前微機械研究分為理論研究、技術(shù)基礎(chǔ)研究及應(yīng)用研究三部分。 微機械及其微細(xì)加工技術(shù)微系統(tǒng)測量技術(shù)：設(shè)計材料的機械性能、微構(gòu)件或微系統(tǒng)參數(shù)與性能測試等，微型薄膜構(gòu)件的彈性模量、泊松比、拉伸強度、殘余應(yīng)力、韌性等。DMD芯片利用硅表面微加工工藝制作，一個微鏡的尺寸僅 16um16um 。 微機械及其微細(xì)加工技術(shù)? 血管成形手術(shù)：在動脈中推動一個小氣球來清除動脈壁上的硬化瘢塊。微型繼電器等。從微機電發(fā)展的總體水平看，許多關(guān)鍵技術(shù)已經(jīng)突破，正處于從實驗室研究走向?qū)嵱没?、產(chǎn)業(yè)化階段。已積累了一些基礎(chǔ)技術(shù)，取得了一些傳感器和微執(zhí)行器的研究經(jīng)驗和科研成果，多數(shù)為實驗室產(chǎn)品，商品化工作剛剛起步，離產(chǎn)業(yè)化要求相距甚遠(yuǎn)。 霍爾效應(yīng)：霍爾效應(yīng)是磁電效應(yīng)的一種，將一塊半導(dǎo)體或?qū)w材料，沿 Z方向加以磁場 ，沿 X方向通以工作電流 I，則在 Y方向產(chǎn)生出電動勢 V ，如圖所示，這現(xiàn)象稱為霍爾效應(yīng)。? 超磁致伸縮材料 材料在磁場作用下，其長度或形狀發(fā)生伸長或縮短的現(xiàn)象，具有較大磁致伸縮應(yīng)變的材料稱為超磁致伸縮材料。所以微機械微細(xì)加工并不僅限于微電子制造技術(shù)，更重要的是指微機械構(gòu)件的加工或微機械與微電子、微光學(xué)等的集成結(jié)構(gòu)的制作技術(shù)。圖 719是通過三維微細(xì)加工得到的埃菲爾鐵塔的微模型。三、微細(xì)加工技術(shù) 微細(xì)加工 （ Microfabrication）起源于半導(dǎo)體制造工藝，原來指加工尺度約在微米級范圍的加工方式。 微機械及其微細(xì)技術(shù)加工? 壓電材料 一些離子型晶體的電介質(zhì)存在壓電效應(yīng) (如石英、酒石酸鉀鈉、鈦酸鋇等 )。硅具有良好的機電合一特性。 微機械及其微細(xì)加工技術(shù)? 歐共體為了加強各國之間的組織和合作，
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