微機械及其微細加工技術-文庫吧資料
2025-01-05 04:37本頁面
【正文】 頭?娛樂消費類216。制導、戰(zhàn)場偵察（化學、震動）、武器智能化?生物醫(yī)學216。 微機械及其微細加工技術?汽車工業(yè)216。微型繼電器等。微加速度計：用于汽車安全氣袋系統(tǒng)中，檢測和監(jiān)控前面和側(cè)面的碰撞。其中用于制導、衛(wèi)星控制的微慣性傳感器及微型慣性測量組合在汽車中可用于自動駕駛、防撞氣囊、防報死系統(tǒng)（ ABS）等。? 通過微機械加工技術已經(jīng)能夠制造出可以夾起一個紅細胞的微型鑷子。 微機械及其微細加工技術? 血管成形手術：在動脈中推動一個小氣球來清除動脈壁上的硬化瘢塊。 在治療時溫度不夠效果就不好，溫度過高又會傷害周圍的組織，醫(yī)生很難判斷腫瘤部位是否達到這個溫度。另外，臨床分析化驗和基因分析遺傳診斷所需要的各種微泵、微閥、微鑷子、微溝槽、微器皿和微流量計等。 微機械及其微細加工技術2. MEMS在醫(yī)療和生物技術領域的應用 生物細胞的典型尺寸為 1～ 10um，生物大分子的厚度為納米量級，長度為微米量級。DMD芯片利用硅表面微加工工藝制作，一個微鏡的尺寸僅 16um16um 。其基本結構模式為： 微傳感器 +信號和數(shù)據(jù)處理電路（含控制軟件） +外顯示器或微執(zhí)行器 微機械及其微細加工技術(1) 微光譜儀 (2) MEMS顯示器 美國 Texas Instruments研究用于投影顯示裝置的數(shù)字驅(qū)動微鏡陣列芯片（ Digital Micromirror deviceDMD）。二 微型機械發(fā)展現(xiàn)狀及展望 1. 微型儀器 微型儀器實際上就是具有儀器功能的 MEMS產(chǎn)品，是 MEMS技術與微電子技術綜合集成的產(chǎn)物。 微機械及其微細加工技術微系統(tǒng)的集成與控制：涉及系統(tǒng)設計、微傳感器或微執(zhí)行器與控制處理電路的集成、能源供給、接口通訊等。 微機械及其微細加工技術微系統(tǒng)測量技術：設計材料的機械性能、微構件或微系統(tǒng)參數(shù)與性能測試等，微型薄膜構件的彈性模量、泊松比、拉伸強度、殘余應力、韌性等。 微機械及其微細加工技術微機械設計技術包括：微結構設計、彈塑性有限元分析、 CAD/CAM技術、數(shù)據(jù)庫技術、微系統(tǒng)建模與仿真等。相關學科，如微電子學、微機械學、微光學、微動力學、微流體力學、微熱力學、微摩擦學、微結構學和微生物學等共同構成了微機械研究的理論基礎。在微觀尺寸領域，與尺寸 L的高次方成比例的慣性力、電磁力 (L8)等的作用相對減小，而與尺寸的低次方成比例的黏性力、彈性力 (L2)、表面張力(L1)、靜電力 (L0)等的作用相對增大，同時表面積 (L2)與體積 (L3)之比增大，熱傳導、化學反應等加速和表面間的摩擦力顯著增大。 微機械及其微細加工技術 微機械及其微細加工技術目前微機械研究分為理論研究、技術基礎研究及應用研究三部分。 微機械及其微細加工技術 目前，微機械的研究正在從基礎研究逐步邁向研制開發(fā)與實用階段。 微機械及其微細加工技術，微機械所表現(xiàn)出的智能化程度更高、實
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