【正文】 /s 中北大學 諧振式 電容檢測 176。 測量范圍 —— 陀螺儀的量程 閾值 ―― 陀螺儀能敏感的最小輸入角速率。實現(xiàn)的最簡單方法就是諧振，即施加激勵使加速度傳感器做往復運動。 微機械陀螺儀 (MEMS gyroscope)主要有 轉子式 、振動式 微機械陀螺儀和 微機械加速度計陀螺儀 三種 。/s 缺點： 目前，各種微機械陀螺的角速度測量精度相對較低， 漂移較大。 LOGO 柯氏效應與柯氏力 y x z ω V y x z V Vx Vy Vz ac1 ac2 x z y Vx Vz V Vy ac LOGO 柯氏效應與柯氏力 初始速度和位臵的不同將會引起運動軌跡的不同 。 /s 清華 角振動 電容檢測 176。/h。 標度因數(shù)非線性度 ―― 在輸入角速率范圍內(nèi)，陀螺儀輸出量相對于最小二乘法擬合直線的最大的偏差和最大輸出量之比。在微機械陀螺基本原理中本質相同，但旋轉體不再是地球而是陀螺儀本身。 振動式微機械陀螺主要由 支撐框架 、 諧振質量塊 ， 以及 激勵 和 測量單元 幾個部分構成 。 2. 成本低 ， 加工工藝可保證大規(guī)模生產(chǎn) 。 傅科擺模型 根據(jù)柯氏效應原理可以解釋傅科擺運動 。/s 大氣 100μV/186。 LOGO 智能手機中 汽車中 空中無線鼠標中 數(shù)碼相機中 智能機器人中 應用舉例 LOGO 應用前景展望 在 MEMS中還存在著大量具有挑戰(zhàn)性的力 、 磁 、電等問題需要研究 , 對這些問題的有效解決則將會加快推動微機械陀螺儀技術的發(fā)展 應用比重增大 仍然面臨挑戰(zhàn) 過去幾十年內(nèi) ， 在汽車工業(yè)需求的推動下 , 微陀螺技術取得了長足進展 ， 隨著對傳感器小型化 、 集成化的應用需求 ， 其在應用領域中的比重將會不斷增大 。 / sec ]地球轉速 ： 4 . 2 10 3176。判斷方法按照右手旋進規(guī)則進行判斷 ω V ac LOGO 柯氏效應與柯氏力 ω V 柯氏加速度分析 ω Vt0=V Vt1=V ΔVt α=ωt ΔVt=2Vsin(ωt/2) 002 sin2lim limtt tttVVaVtt???????????? ? ????? ????徑向分析 LOGO 柯氏效應與柯氏力 ω V 柯氏加速度分析 ω Vr0=r0 ω α=ωt Vr1=r1 ω ΔVr 切向分析 ΔVr=Vr1Vr2 1000lim lim