供輸半導體級一般氣體之配管工作程序文件-資料下載頁
2024-08-26 08:20本頁面
【正文】 有非常多的項目需進行測試,為避免因客戶方面之見證者勘驗不便而造成此合約性工作的延遲進行,可用拍照方式將需確認的位置存證以代替當場之見證? 6) 氦測漏(He leak test) 在大氣中氦的分子體積小,僅次於氫氣?為測得細微之洩漏,則使用氦測漏儀作分析? 一般較嚴謹的作法是在各焊接點?VCR接點等處包覆油紙袋?將氦氣灌入袋中,使袋 中含氦氣持續(xù)數分鐘,若有微漏可從氦測漏儀中測得?然而,這種作法一般較花費時 間相對成本也較高?另一種作法則是在各焊接點?VCR接點等處以氦氣噴槍直接注入 氦氣? 8. 純度提升之過程1) 方法: 在完成氣密試驗後,為了提升管線內部的純淨度,可以經由下列程序進行: 所有的次主管均以純氬氣或氮氣反覆噴洗,其使用氣體的流速約為15~20 m/sec (見附表 四) ? 表四 : 管線直徑及純度提升所需之氣體流速 管線直徑氣體流速時 間1/4”12N1/min24 hr3/8”45N1/min24 hr1/2”70N1/min24 hr3/4”200N1/min24 hr1”280N1/min24 hr3/8B (10A)150N1/min24 hr1/2B (15A)240N1/min24 hr3/4B (20A)410N1/min24 hr1B (25A)670N1/min24 hr1 3/4B (32A) m3/min24 hr1 1/2B (40A) m3/min24 hr2B (50A) m3/min24 hr2 1/2B (65A) m3/min24 hr3B (80A) m3/min24 hr4B (100A) m3/min24 hr2) 純度測試: a) 微粒子測試(Particle): 為了計算氣體中所含的微粒數目,可於測試點出口處連接一微粒子分析儀(Particle counter)?此微粒子分析儀一次印出計算數值約等於1立方英呎的氣體所含微粒 數。為確保數值可信,此資料需連續(xù)印出3次 且其粒子大小之設定在規(guī)定範圍內, 若此資料中每一測試點的數值均在檢定合格的標準以下,表示此微塵測試通過? b) 水份子測試(H2O): 水份子分析儀接在測試點出口處?若其資料中每一測試點的水份子數值均在檢定合 格的標準以下,表示此水份子測試通過? c) 殘餘氧氣分析(O2): 氧氣分析儀接在測試點出口處?若其資料中每一測試點的氧氣濃度均在檢定合格的 標準以下,表示此殘餘氧氣分析通過?____________________________________________________________________修正版：88/12/22 Marketech International Corp.
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