供輸半導(dǎo)體級(jí)一般氣體之配管工作程序文件-預(yù)覽頁(yè)
【正文】 其配管工作由Gas Yard的末端閥經(jīng)過氦氣純化器(He Purifier).?b) GHe:其配管工作由Gas .?7) 氬氣(Ar) 分為PAr及GAr :a) PAr:其配管工作由Gas Yard的末端閥經(jīng)過氬氣純化器(Ar Purifier).?b) GAr:其配管工作由Gas .?4. 工作環(huán)境 在工作現(xiàn)場(chǎng)需配有一臨時(shí)性潔淨(jìng)棚,且所有配管工作的操作基本上必須在此區(qū)域內(nèi)完成,以避免一些不當(dāng)?shù)奈廴?此潔淨(jìng)棚必須維持且控制在以下的環(huán)境條件下:1) 臨時(shí)性潔淨(jìng)棚 a) 微塵數(shù)目(靜態(tài)數(shù),粒子大小 ) 位置潔淨(jìng)度庫(kù)房10000切割工作區(qū)域1000焊接工作區(qū)域1000 b) 條件 : 於焊接工作區(qū)域內(nèi),其溫度為 21176。 至少每天做兩次,於早晨與下午焊接工作開始之前?2) 氣體管材的處理a) 管線與零件的清潔:所有的管子與其零件需於製造後以管帽蓋住開口處?封裝後,始可運(yùn)送至現(xiàn)場(chǎng)?！?26。○切割至所需長(zhǎng)度及使用機(jī)器將端點(diǎn)磨平充以氬氣,噴洗並清理管子末端部份由通過資格鑑定的技師負(fù)責(zé)焊接之相關(guān)工作分段逐一檢查清潔並以氮?dú)獠粩鄧娤匆赃_(dá)潔淨(jìng)要求將管子兩端覆以帽蓋並以塑膠套膜包裝整組封好運(yùn)送之全部流程均在臨時(shí)性潔淨(jìng)棚中操作?處理 1234管線預(yù)作之檢查工作臨時(shí)性架設(shè)分區(qū)安裝檢驗(yàn)工作○226。檢查欲架設(shè)地點(diǎn)確定所切割之管線符合預(yù)先設(shè)計(jì)之長(zhǎng)度擺設(shè)好並焊接之外觀目檢?充以壓力及進(jìn)行氣密試驗(yàn)於架設(shè)管線之現(xiàn)場(chǎng)中進(jìn)行56純度提升完成並測(cè)試◎226。 (P1/ T1 )] X 100%所需 量測(cè)值轉(zhuǎn)換值的計(jì)算測(cè)試時(shí)間壓力(kg/cm2G)溫度(176。為確保數(shù)值可信,此資料需連續(xù)印出3次 且其粒子大小之設(shè)定在規(guī)定範(fàn)圍內(nèi), 若此資料中每一測(cè)試點(diǎn)的數(shù)值均在檢定合格的標(biāo)準(zhǔn)以下,表示此微塵測(cè)試通過? b) 水份子測(cè)試(H2O): 水份子分析儀接在測(cè)試點(diǎn)出口處?若其資料中每一測(cè)試點(diǎn)的水份子數(shù)值均在檢定合 格的標(biāo)準(zhǔn)以下,表示此水份子測(cè)試通過? c) 殘餘氧氣分析(O2): 氧氣分析儀接在測(cè)試點(diǎn)出口處?若其資料中每一測(cè)試點(diǎn)的氧氣濃度均在檢定合格的 標(biāo)準(zhǔn)以下,表示此殘餘氧氣分析通過?____________________________________________________________________修正版：88/12/22 Marketech International Corp.
規(guī)章制度相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1