【正文】 顯示進入此層至此時之總時間。 ：顯示此層之監(jiān)控波長(光學膜厚監(jiān)控)。 (流量)：顯示此層所設定的真空或流量，與通氧模式有關。 15. 電子鎗：顯示現(xiàn)在所使用之電子鎗。 16. 遮板：顯示遮板開或關。 ：1：自動換層，0：手動換層。 ：顯示此層監(jiān)控模式為光學膜厚或石英膜厚或時間監(jiān)控。 19. 換層：顯示為手動換層或自動換層。 ：顯示現(xiàn)在石英膜厚(石英膜厚監(jiān)控)。 ：顯示現(xiàn)在石英壽命(有石英振盪器之裝置)。 4) 圖右上方提供放大、縮小及關閉功能，蒸著中若關閉此圖，可藉由點選”蒸著製程狀態(tài)訊息”，即可顯示出。 蒸著製程廣波域訊息1) 蒸著膜層若是光學膜厚監(jiān)控(廣波域監(jiān)控系統(tǒng))，在蒸著源遮板打開後。2) 此圖所顯示是一個蒸著過程中即時反應的廣波域，橫座標是波長(nm)，縱座標是光量穿透率(%)。圖中之綠色曲線是設計波形，紅色曲線是經(jīng)由監(jiān)控片實際量測到之波形。3) 圖右上方提供放大、縮小及關閉功能，蒸著中若關閉此圖，可藉由點選”蒸著製程廣波域訊息”，即可顯示出。 蒸著製程監(jiān)控波長訊息1) 蒸著膜層若是光學膜厚監(jiān)控，在蒸著源遮板打開後。2) 此圖所顯示是一個蒸著過程中監(jiān)控波長隨時間之變化，橫座標是時間軸(sec)，縱座標是光量變化率(%)。圖中之綠色曲線是設計之穿透率變化曲線(由製程分析選取)，紅色曲線是實際變化曲線。譬如說：低折射率膜層穿透率增加，曲線向上，高折射率膜層穿透率降低，曲線向下。3) 圖右上方提供放大、縮小及關閉功能，蒸著中若關閉此圖，可藉由點選”蒸著製程監(jiān)控波長訊息”，即可顯示出。 蒸著製程石英膜厚訊息1) 蒸著膜層若是石英膜厚監(jiān)控，在蒸著源遮板打開後。2) 此圖所顯示是一個蒸著過程中即時石英膜厚擷取，膜厚到達設定值就會自動切換到下一層。橫座標是時間軸(sec)，縱座標是石英膜厚(kA)，綠色直線是設定膜厚，紅色曲線是即時膜厚偵測值。3) 圖右上方提供放大、縮小及關閉功能，蒸著中若關閉此圖，可藉由點選”蒸著製程石英膜厚訊息”，即可顯示出。 蒸著製程蒸著速率訊息1) 蒸著膜層若是有設定蒸著速率，在蒸著源遮板打開後。2) 此圖所顯示是一個蒸著過程中蒸著速率調節(jié)變化情形，橫座標是時間軸(sec)，縱座標是蒸著速率(A/Sec)，綠色直線是速率設定值，紅色曲線是即時速率偵測值。由圖可看出蒸著速率是否調節(jié)適當。3) 圖右上方提供放大、縮小及關閉功能，蒸著中若關閉此圖，可藉由點選”蒸著製程蒸著速率訊息”，即可顯示出。 蒸著製程氧氣流量訊息1) 當蒸著源遮板打開進入實際蒸著後。2) 此圖所顯示是蒸著過程中氧流量隨時間的變化情形，橫座標是時間軸(sec)，縱座標是流量值(SCCM)。在定流量的模式(通氧模式:4)時，綠色直線是流量設定值，紅色曲線是流量即時值；在定真空的模式(通氧模式:3)時，只有顯示流量即時值，以紅色曲線表示之，由其曲線變化可看出氧流量調節(jié)是否適當。3) 圖右上方提供放大、縮小及關閉功能，蒸著中若關閉此圖，可藉由點選”蒸著製程氧流量訊息”，即可顯示出。 蒸著製程真空訊息1) 當蒸著源遮板打開進入實際蒸著後。2) 此圖所顯示是蒸著過程中真空度隨時間的變化情形，橫座標是時間軸(sec)，縱座標是流量值(E5Torr)。在真空的模式時，綠色直線是真空設定值，紅色曲線是即時真空值，由其曲線變化可看出氧流量調節(jié)是否適當；在定流量的模式時，只有顯示真空即時值，以紅色曲線表示之。3) 圖右上方提供放大、縮小及關閉功能，蒸著中若關閉此圖，可藉由點選”蒸著製程真空訊息”，即可顯示出。 蒸著製程鍍藥預融1) 當製程進入膜材預融程序。2) 此圖顯示膜材預融功率(Power)隨時間的變化情形，橫座標是時間軸(sec)，縱座標是功率(電子鎗模式時，1表示100mA)。此圖可看出三段式預融情形，在此狀態(tài)下，有必要時，隨時都可利用狀態(tài)訊息圖中的”省略”鍵省略之，跳至下一個程序，或”放棄”鍵離開製程監(jiān)控。3) 圖右上方提供放大、縮小及關閉功能，蒸著中若關閉此圖，可藉由點選”蒸著製程鍍藥預融”，即可顯示出。 線上量測此主下拉功能細分下列幾項次功能 量測 量測參數(shù) 基準線參數(shù) 參考光量掃瞄 暗區(qū)掃瞄 1) 鍍膜機安裝有廣波域光學監(jiān)控系統(tǒng)方能使有此項功能，有如一臺可即時量測光譜之光譜儀。2) 即時量測步驟如下：1. 暗區(qū)掃瞄(非每次需要， 節(jié)所述) 2. 基準線參數(shù)：設定所儲存之參考光量為何基準，如100%(此值最常使 用)或基材BK7。3. 量測參數(shù)：設定穿透率量測範圍，如要利用此量測檢測光譜雜訊，建議範圍設為99%101%，較易觀察。4. 參考光量掃瞄儲存：如量測時間間隔過久，量測前建議先進行一次參考光量掃瞄儲存。5. 量測：實際置放量測物於光路上進行量測，若要檢測光譜雜訊，不必放置任何東西。 量測1) 將游標移至”線上量測”224。”量測”點選，在此畫面即可進行穿透率光譜量測。2) 按鍵說明：1. 資料儲存：按下此鍵即可將資料儲存為..\measure\ 檔，以供操作者參考。2. 退出：按下此鍵立即退出量測。3. 顯示：單一顯示表示畫面只保留最新之掃瞄光譜，重覆顯示會將所有掃瞄過的光譜同時顯示在畫面上，同一按鍵切換顯示。 量測參數(shù)1) 將游標移至”線上量測”224?！绷繙y參數(shù)”點選，在此畫面即可設定穿透率光譜量測範圍。2) 按鍵說明：：儲存設定且關閉設定畫面。：關閉設定畫面。 基準線參數(shù)1) 將游標移至”線上量測”224?！被鶞示€參數(shù)”點選，在此畫面即可設定量測基準為何。2) 按鍵說明：：儲存設定且關閉設定畫面。：關閉設定畫面。3) *Substate：若選擇基板材料，則基準光譜與基材光譜一樣，一般使用它，可不必拆下監(jiān)控片就可量測其光譜量。*Base Line Trans(%)：點選之後，可設定基準光譜，一般 100 最常使用。 參考光量掃瞄 暗區(qū)掃瞄 其他功能 此主下拉功能細分下列幾項次功能 計算NK值(3點) 計算NK值(單點) 計算NK值(3點) 1) 將游標移至”其他功能”224。”計算NK值(3點)”點選，在此畫面即可計算膜材折射率。2)：測試新的藥材時，計算設計NK值或監(jiān)控NK值；或膜材重新測試計算使用。：計算時，基材必須跟監(jiān)控片基材一致，蒸鍍時不可有吸收現(xiàn)象，基材本身不可有吸收現(xiàn)象，一次只能做單一藥材。3) 計算步驟如下： Peak 測試(高折射率材料)或高點(低折射率材料)所對應之波長與穿透率，務必由短波長循序輸入，計算後資料儲存於..REC\，其資料格式與TFCal之材料檔資料格式相容，更名存入相關路徑中，即可供製程分析呼叫或TFCal 分析呼叫，需點按”離開”鍵方可離開此計算畫面 計算NK值(單點) 1) 將游標移至”其他功能”224?！庇嬎鉔K值(單點)”點選，在此畫面即可進行簡單單層膜單點極值穿透率或折射率計算。2) 使用方法：，輸入基材穿透率(未鍍)後按”基材N計算”，便可穫得基材折射率；也可反向操作，先輸入基材折射率，再按”基材穿透率”，便可計算出基材穿透率。 (單一膜材)，膜材極值是鍍完後量測所得(T%)，輸入後按”膜材N計算” ，便可得膜材單點極值折射率；也可反向操作折射率，若已知膜材單點極值折射率，可輸入之，再按”膜材穿透率”便可得單點極值穿透率。*點選單面反射，其操作方式跟2一樣，其輸入值及量測皆為單面反射率(R%)。3) *注意事項：基材本身吸收小，藥材試鍍儘可能避免吸收，方能得到較準確的計算值。 系統(tǒng)特色:1) 作業(yè)系統(tǒng)： Win2000、Win XP 或 Win Vista2) 單一執(zhí)行檔，含檔案資料建立、分析、監(jiān)控、量測、提高操作之方便3) 資料輸入有防呆與指示功能，提高資料正確性4) 具有與 TFCalc 分析軟體相同檔案格式，方便資料建立，亦可直接將 TFCalc 設計之膜厚轉換至製程檔5) 較彈性之硬體設定，方便除錯、硬體設定互換或關閉6)多視窗顯示功能，可獨立放大、縮小或關閉7)具有溢鍍量扣減分析功能8)分析後，監(jiān)控波長選擇更具方便性9)可紀錄及鍍後顯示每一鍍膜層資料，包括廣波域光譜、監(jiān)控波長光譜變化、物理膜厚、蒸著速率、通氧流量、真空度變化、離子源相關變化量(Vd, Id…) ，方便檢知，利於問題的判斷與解決10)監(jiān)控過程更具彈性，隨時可中斷、暫停、省略或放棄11)掃瞄式融藥功能12)監(jiān)控中，參數(shù)變更即時生效，方便製程調整13)線上量測功能，可依狀況變換量測基準，進行量測 14)自動補層功能，大大提高膜層中斷補救之成功率 15)穩(wěn)定的蒸著速率調整及石英壽命檢測、自動石英振盪片切換，可提高製程之良品率 16)新增一些狀態(tài)檢測，如有不對，立即關閉遮板，停止電子鎗作動及發(fā)出警報，可大大降低不良率的發(fā)生 監(jiān)控系統(tǒng)簡要 項目：監(jiān)控方式可連接之硬體適用膜堆再現(xiàn)性備註光學監(jiān)控廣波域監(jiān)控系統(tǒng)(穿透式), 反射式單波長監(jiān)控(如OPM8,ASAHI…等等)MIRROR、IR、AR、R、G、B Filter佳圖一石英監(jiān)控STM100、SQC12SQM160、ICXTC2???AR、IR、金屬膜堆佳時間監(jiān)控單層膜、金屬膜較差光學膜厚監(jiān)控畫面：石英監(jiān)控畫面：時間監(jiān)控畫面：63 /