真空系統(tǒng)設計ppt課件-資料下載頁
2025-05-05 03:19本頁面
【正文】 型擴散泵是否合適。 四． 計算前級泵真空管路 五． 計算抽氣時間 確定真空室中保持 103Pa的工作壓強所需要的真空系統(tǒng)的有效抽速S ? 為了可靠起見，增大 20% ?。?3388L/s L / s 2 8 2 3321 ??????? ?gg pQpQS根據(jù)要求的工作壓強及使用要求，選油擴散泵作為主泵 山型擋板 +高真空擋板閥； 一般泵的有效抽速約為泵的抽速的三分子一； 選抽速為 10000L/s的擴散泵（ K600）試算； 抽氣速率L/s） 最大反壓強(Pa) 極限壓強 (Pa) 進氣口直徑(mm) 推薦前級泵抽速(L/s) K600 12500 40 7*105 600, 70 ? 主要考慮管道 3，閥門 擋板 5的流導； ? 確定氣體流動狀態(tài)：當真空室達到 103 Pa壓強時，平均壓強為： Pa 4???? gPp0 . 6 mPa 4 ??? ?dp 2P a ?? 分子流 12022 114000 126000 11111 543 ?????? CCCCL /s5 2 0 0?C? 計算總流導 C ? 計算擴散泵的抽速 SP L / s9 8 0 03 3 8 85 2 0 0 5 2 0 0*3 3 8 8 ????? SC SCS p計算前級泵真空管路 在 *102Pa下，擴散泵的最大排氣量為： L / sPa2971100010* 2m ax ????? ?pSQL / s740297 ???nm a nq pQS前級泵的抽速不得低于： 前級管道的平均壓強： Pa 2021 ?? nPp0 . 1 5 mPa20 ??dp 7P a ?? 粘滯流 4 5 0 0 L / s/ 343 ???? pLdCL /s7????qqp SCCSS 通常將 Sp增大 ~3倍，選泵。 L/s21?pS2X30型機械泵 計算抽氣時間 忽略管道的容積，利用 2X30型機械泵從大氣抽到 ， 其抽速為 30L/s ppSVKtpq? m 10*53 ???粗抽時間不大于 10~30分鐘，故可行 ~*103的抽氣時間 考慮出氣影響，一小時后的出氣量 可見高真只要 1小時就可達到。 L / 5 0 0 51 ????? ?QPa101 . 3Pa1053 3 8 341 ?????? ?SQp
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