薄膜技術(shù)緒論ppt課件-資料下載頁
2025-05-03 06:00本頁面
【正文】 do they condense ?) How do the variables effect film structure and properties ? 薄膜科學(xué)的基本概念 涉及的物理內(nèi)容： ? thermodynamics and kiics ? phase transition gas condenses to solid ? nucleation ? growth kiics ? activated processes ? desorption ? diffusion ? allowed processes and allowed phases 薄膜科學(xué)的基本概念 ? solid state physics ? crystallography ? defects ? bonding ? electricity and magism ?optics ? conductivity resistivity ? magic properties ? mechanics ? stresses in films ? friction and wear 本課程的主要內(nèi)容 ? 薄膜的制備技術(shù) ? 蒸發(fā)鍍膜技術(shù) Vaporation ? 濺射鍍膜技術(shù) Sputtering ? 離子鍍膜技術(shù) Ion Plating ?分子束外延技術(shù) MBE Molecule Binding Epitaxy ?化 學(xué) 氣 相 沉 積 技 術(shù) CVD Chemical Vapor deposition ? LB技術(shù) ? SolGel技術(shù) ? 薄膜物理 本課程的主要內(nèi)容 ? 薄膜形成機(jī)理和物理模型 包括薄膜凝結(jié)過程 、 核形成和生長 、 生長模式等 ? 薄膜結(jié)構(gòu)和缺陷 包括薄膜的組織結(jié)構(gòu) （ 非晶 、 纖維 、 單晶和多晶結(jié)構(gòu) ） 、 表面結(jié)構(gòu)以及結(jié)構(gòu)與組分的分析方法；缺陷類型 （ 點缺陷 、 位錯 、 層錯等 ） ? 薄膜物理性質(zhì) 電學(xué) 、 光學(xué) 、 磁學(xué)以及力學(xué)性質(zhì)等 ? 薄膜研究方法簡介 ? 薄膜厚度 光學(xué)測量法和機(jī)械測量法 ? 薄膜結(jié)構(gòu) 掃描電子顯微鏡 、 透射電子顯微鏡 、 X射線衍射 、 低能電子衍射 、 反射式高能電子衍射 、 掃描探針顯微鏡等 ?薄膜成分 X射線能量色散譜 、 俄歇電子能譜 、 盧瑟福背散射技術(shù) 、 二次離子質(zhì)譜等 ?薄膜附著力等分析 刮剝法 、 拉伸法等 本課程的主要內(nèi)容 教材及參考書 ? 唐偉忠 . 薄膜材料制備原理 、 技術(shù)及應(yīng)用 . 冶金工業(yè)出版社 ，2022 ? 楊邦朝 ， 王文生 . 薄膜物理與技術(shù) . 電子科技大學(xué)出版社 ，1997 ? 陳國平 . 薄膜物理與技術(shù) . 東南大學(xué)出版社 ， 1993 ? 曲喜新 ， 楊邦朝 ， 姜節(jié)儉 ， 張懷武編著 . 電子薄膜材料 . 科學(xué)出版社 ， 1997 ? 吳自勤 ， 王兵 . 薄膜生長 . 科學(xué)出版社 ， 2022 ? 薛增泉 ， 吳全德 ， 李浩 . 薄膜物理 . 電子工業(yè)出版社 ， 1991 ? 鄭偉濤 . 薄膜材料與薄膜技術(shù) 。 化學(xué)工業(yè)出版社 ， 2022
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