薄膜技術(shù)緒論ppt課件(更新版)
【正文】 薄膜科學(xué)的應(yīng)用 薄膜的分類(lèi) 薄膜在當(dāng)今和未來(lái)都擁有十分廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域 ，尤其是微電子和光電子領(lǐng)域 。s1 107 ①在所有已知物質(zhì)中為最高值；②在已知所有物質(zhì)中列第二 金剛石的物理性質(zhì) （ 2）熱學(xué)性質(zhì)的應(yīng)用 利用其極高的熱導(dǎo)率。焊接在工具尖端或直接沉積在工具的表面，提高工具的使用壽命 物理性質(zhì) 天然金剛石 CVD金剛石薄膜 硬度 /GPa 100① 90～ 100 楊氏模量 /GPa 1200① 接近天然金剛石 溫度熱導(dǎo)率 /W(cm例如 TiN、 TiC涂層。在用涂層方法制備出材料組合，則可以有效地發(fā)揮各種材料的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)避免各自的局限性。 ? 薄膜材料由于其在微觀結(jié)構(gòu) 、 宏觀性能等方面所具有的特殊性 , 在科學(xué)技術(shù)發(fā)展和人們的日常生活中發(fā)揮著越來(lái)越重要的作用 。 一般的固體薄膜 ， 乃是由把原子或分子狀的蒸發(fā)粒子沉積 （ 或稱(chēng)蒸鍍 ） 在表面平滑的基板表面上所獲得 。薄膜物理與技術(shù) 教材：唐偉忠 . 《 薄膜材料 制備原理 、 技術(shù)及應(yīng)用 》冶金工業(yè)出版社 32學(xué)時(shí) ， 選修課 緒 論 ? 薄膜科學(xué)的發(fā)展歷史 ? 薄膜的分類(lèi) ? 薄膜科學(xué)的研究?jī)?nèi)容 ? 薄膜科學(xué)的基本概念 ? 本課程的主要內(nèi)容 ? 教材及參考書(shū) ① twodimension materials ② thin = less than about one micron ( 10,000 Angstroms, 1000 nm) ③ film = layer of material on a substrate (if no substrate, it is a foil) 一百多年來(lái) ， 人們對(duì)物質(zhì)的物理性質(zhì)的廣泛研究 ， 使物理學(xué)成為一個(gè)很大的學(xué)科領(lǐng)域 。 在現(xiàn)今留下的紀(jì)錄里 ， 最早的是 1852年德國(guó)的化學(xué)家本生 (Robert Wilhelm Bunsen)和 Grove分別由化學(xué)反應(yīng)和輝光放電 (glow discharge)確認(rèn)了其所產(chǎn)生的固體薄膜 。 例如： ? 廚房用的鋁箔（厚度約 ， 20μm） ； ? 保鮮膜（厚度約 15μm） ； ? 保護(hù)或裝飾物品表面的電鍍層或膠膜； ? 油漆等較厚的膜； ? 眼鏡、照相機(jī)鏡片上的防紫外線(xiàn)或是防眩光膜； ? IC芯片及各種電子材料、裝置上的鍍膜等極薄的膜； ? 下雨時(shí)車(chē)窗上的水膜，或是漂浮在湯汁上面的油膜等，則是屬于液體薄膜。 薄膜科學(xué)的發(fā)展歷史 薄膜科學(xué)的應(yīng)用 1. 耐磨及表面防護(hù)涂層 現(xiàn)在科學(xué)技術(shù)對(duì)機(jī)械部件提出了綜合性能要求往往超出了單一材料可以達(dá)到的性能范圍。 （ 1）耐磨涂層 減小零件或工具的機(jī)械磨損。 薄膜科學(xué)的應(yīng)用 金剛石薄膜的應(yīng)用 （ 1）力學(xué)性質(zhì)的應(yīng)用 利用其高硬度、高耐磨性。s)1 1600② 介電常數(shù) 飽和電子速度 /cm 薄膜科學(xué)的應(yīng)用 集成電路工藝中，氧化、涂膠等都涉及到了薄膜材料的制備問(wèn)題。 化學(xué)工業(yè)出版社 ， 202
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