薄膜技術(shù)緒論ppt課件-文庫(kù)吧資料
2025-05-09 06:00本頁(yè)面
【正文】 n ? 濺射鍍膜技術(shù) Sputtering ? 離子鍍膜技術(shù) Ion Plating ?分子束外延技術(shù) MBE Molecule Binding Epitaxy ?化 學(xué) 氣 相 沉 積 技 術(shù) CVD Chemical Vapor deposition ? LB技術(shù) ? SolGel技術(shù) ? 薄膜物理 本課程的主要內(nèi)容 ? 薄膜形成機(jī)理和物理模型 包括薄膜凝結(jié)過程 、 核形成和生長(zhǎng) 、 生長(zhǎng)模式等 ? 薄膜結(jié)構(gòu)和缺陷 包括薄膜的組織結(jié)構(gòu) （ 非晶 、 纖維 、 單晶和多晶結(jié)構(gòu) ） 、 表面結(jié)構(gòu)以及結(jié)構(gòu)與組分的分析方法；缺陷類型 （ 點(diǎn)缺陷 、 位錯(cuò) 、 層錯(cuò)等 ） ? 薄膜物理性質(zhì) 電學(xué) 、 光學(xué) 、 磁學(xué)以及力學(xué)性質(zhì)等 ? 薄膜研究方法簡(jiǎn)介 ? 薄膜厚度 光學(xué)測(cè)量法和機(jī)械測(cè)量法 ? 薄膜結(jié)構(gòu) 掃描電子顯微鏡 、 透射電子顯微鏡 、 X射線衍射 、 低能電子衍射 、 反射式高能電子衍射 、 掃描探針顯微鏡等 ?薄膜成分 X射線能量色散譜 、 俄歇電子能譜 、 盧瑟福背散射技術(shù) 、 二次離子質(zhì)譜等 ?薄膜附著力等分析 刮剝法 、 拉伸法等 本課程的主要內(nèi)容 教材及參考書 ? 唐偉忠 . 薄膜材料制備原理 、 技術(shù)及應(yīng)用 . 冶金工業(yè)出版社 ，2022 ? 楊邦朝 ， 王文生 . 薄膜物理與技術(shù) . 電子科技大學(xué)出版社 ，1997 ? 陳國(guó)平 . 薄膜物理與技術(shù) . 東南大學(xué)出版社 ， 1993 ? 曲喜新 ， 楊邦朝 ， 姜節(jié)儉 ， 張懷武編著 . 電子薄膜材料 . 科學(xué)出版社 ， 1997 ? 吳自勤 ， 王兵 . 薄膜生長(zhǎng) . 科學(xué)出版社 ， 2022 ? 薛增泉 ， 吳全德 ， 李浩 . 薄膜物理 . 電子工業(yè)出版社 ， 1991 ? 鄭偉濤 . 薄膜材料與薄膜技術(shù) 。 薄膜科學(xué)的研究?jī)?nèi)容 薄膜研究是以薄膜制備為起點(diǎn)的 , 因此 , 薄膜生長(zhǎng)理論和薄膜制備技術(shù)是薄膜材料研究的基礎(chǔ) 。 ? 潤(rùn)滑薄膜 用于真空 、 高溫 、 低溫 、 輻射等特殊場(chǎng)合的MoS MoS2Au、 MoS2Ni等固體潤(rùn)滑薄膜 薄膜的分類 裝飾薄膜： 廣泛用于燈具 、 玩具 、 汽車等交通工具；家用電器 、 鐘表 、 工藝美術(shù) 、 日用小商品等 。 其它的分離器件，如發(fā)光二極管、異質(zhì)結(jié)激光器、超晶格與量子阱結(jié)構(gòu) 薄膜磁頭、只讀（ ROM）光盤、一次寫入（ WORM）式光盤、可擦重寫（ EDRAW)式光盤、直接重寫式光盤 薄膜科學(xué)的應(yīng)用 在信息顯示技術(shù)中的應(yīng)用 薄膜科學(xué)的應(yīng)用 在信息顯示技術(shù)中的應(yīng)用 薄膜科學(xué)的應(yīng)用 在信息存貯技術(shù)中的應(yīng)用 薄膜科學(xué)的應(yīng)用 在日常生活中的應(yīng)用 薄膜科學(xué)的應(yīng)用 在計(jì)算機(jī)技術(shù)中的應(yīng)用 薄膜科學(xué)的應(yīng)用 在計(jì)算機(jī)技術(shù)中的應(yīng)用 薄膜科學(xué)的應(yīng)用 薄膜的分類 薄膜在當(dāng)今和未來都擁有十分廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域 ，尤其是微電子和光電子領(lǐng)域 。 另外，利用金剛石膜制備的聲表面波器件使得工作頻率范圍大大增加；金剛石膜也是很好的光學(xué)窗口
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