薄膜技術(shù)緒論ppt課件(參考版)
2025-05-06 06:00本頁(yè)面
【正文】 ? 界面和表面結(jié)構(gòu) ? 薄膜的缺陷和固體擴(kuò)散 ? 薄膜的成核和生長(zhǎng) ? 薄膜表面動(dòng)力學(xué) ? 薄膜反應(yīng) 、 界面擴(kuò)散和界面遷移 ? 薄膜物理性能 薄膜科學(xué)的研究?jī)?nèi)容 薄膜科學(xué)中的熱點(diǎn)問題： ? 薄膜成長(zhǎng)的過程與影響因素 ? 蒸鍍技術(shù)－熱蒸鍍、電子束蒸鍍、離子束輔助蒸鍍、分子束薄膜成長(zhǎng) ? 濺鍍技術(shù)－ DC濺鍍、 RF濺鍍、反應(yīng)濺鍍、磁控原理 ? 化學(xué)氣相鍍膜技術(shù)－常壓 CVD、 低壓 CVD、 電漿輔助CVD ? 薄膜生長(zhǎng)技術(shù)－材料匹配、應(yīng)力層超晶格、低溫生長(zhǎng) ? 薄膜間的反應(yīng)、相互擴(kuò)散、電遷移等現(xiàn)象 ? 薄膜分析方法－結(jié)晶結(jié)構(gòu)、化學(xué)組成、表面及界面分析、顯微分析 薄膜科學(xué)的基本概念 ? different from bulk materials ? Thin films may be: ? not fully dense ? under stress ? different defect structures from bulk ? quasi two dimensional (very thin films) ? strongly influenced by surface and interface effects ? This will change electrical, magic, optical, thermal, and mechanical properties. 薄膜的特性： 薄膜科學(xué)的基本概念 Typical steps in making thin films: 1. emission of particles from source ( heat, high voltage . . .) 2. transport of particles to substrate (free vs. directed) 3. condensation of particles on substrate (how do they condense ?) How do the variables effect film structure and properties ? 薄膜科學(xué)的基本概念 涉及的物理內(nèi)容： ? thermodynamics and kiics ? phase transition gas condenses to solid ? nucleation ? growth kiics ? activated processes ? desorption ? diffusion ? allowed processes and allowed phases 薄膜科學(xué)的基本概念 ? solid state physics ? crystallography ? defects ? bonding ? electricity and magism ?optics ? conductivity resistivity ? magic properties ? mechanics ? stresses in films ? friction and wear 本課程的主要內(nèi)容 ? 薄膜的制備技術(shù) ? 蒸發(fā)鍍膜技術(shù) Vaporatio
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1